판매용 중고 KLA / TENCOR P15 #9254109

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KLA / TENCOR P15
판매
ID: 9254109
웨이퍼 크기: 8"
Long scan profiler, 8" Upgraded from P11 Computer controlled Automatic measurement capability Measurement of vertical features: 100 Å (0.4 min) to ~300 µm (11 mils) With vertical resolution: 0.5, 2 / 10 Å Includes: Semiconductor wafers Thin film heads Precision machined and polished surfaces Ceramics for microelectronics Glass for flat panel displays Optical surfaces.
KLA/TENCOR P15는 반도체 제조업체를위한 시장을 선도하는 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 광범위한 어플리케이션에서 사용하기에 적합하며, 최첨단 노드 (advanced nodes) 에서 200mm 웨이퍼 (wafer) 까지 크기 (feature size) 를 갖는 샘플의 자동 및 고정밀 측정을 지원합니다. KLA P-15는 처리량과 정확도를 극대화하는 다양한 성능 기능을 제공합니다. 이 시스템은 2D 오버레이 정확도가 최대 +/- 2.5nm이고 1D CD 균일성은 최대 +/- 1.5nm입니다. 이 장치의 검사 기능에는 결함 감지를 위한 고급 (advanced) 알고리즘이 포함되어 있으며, 동급 최고의 데이터 처리량을 제공합니다. 광학 및 음향 센서와 통합된 TENCOR P 15 (TENCOR P 15) 는 고속 측정을 제공하며, 최고의 정확도를 제공하여 사용자가 여러 가지 측정을 수행하고 데이터를 매우 정확하게 분석할 수 있게 해 줍니다. 또한 이 시스템은 강력한 데이터 처리/보고 기능을 갖추고 있으며, 가장 까다로운 제조 환경에 구축할 수 있는 유연성을 제공합니다 (영문). 또한 P15 (P15) 를 사용하면 광범위한 웨이퍼 매개변수와 서피스 특성을 측정할 수 있습니다. 여기에는 입자 간 간격 측정, 평탄 측정, 응력 측정, 선 너비 측정, 펑크 크기 측정 등이 포함됩니다. 또한, 심층적인 차원 분석을 수행할 수 있어 문제 해결 속도를 높이고 다운타임을 줄일 수 있습니다 (영문). 또한, 이 툴은 다용도가 높으며, 각 고객의 고유한 요구에 맞게 완벽하게 조정할 수 있습니다. 에셋의 유연한 설계를 통해 신속한 전환 (changeover) 과 구성 (configuration) 을 손쉽게 수행할 수 있어 운영 주기 (production cycle time) 를 극대화하고 실행 시간을 최소화할 수 있습니다. 또한 KLA는 TENCOR P-15에 대한 기술 지원을 제공하여 고객이 전문가의 기술 조언, 문제 해결, 정기 유지 보수 서비스를 이용할 수 있도록 합니다. 결론적으로, P 15는 혁신적인 웨이퍼 테스트 및 도량형 모델로, 가장 복잡한 웨이퍼 특성을 측정 할 때 가장 높은 정확도와 최고의 처리량을 제공합니다. 강력한 디자인과 고급 기능을 갖춘 KLA/TENCOR P-15 는 오늘날 반도체 제조업체의 요구 사항에 부합하는 훌륭한 솔루션을 제공합니다 (영문).
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