판매용 중고 KLA / TENCOR P15 #9159741

KLA/TENCOR P15는 반도체 웨이퍼를 분석하기 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 고급 자동 도량형 (automated metrology) 기술을 사용하여 제조 과정에서 발생할 수 있는 웨이퍼의 결함을 감지합니다. KLA P-15 (KLA P-15) 는 전체 웨이퍼를 스캔하고 웨이퍼 표면에서 가장 작은 결함까지도 감지하도록 설계되었습니다. 이 장치는 또한 웨이퍼 표면의 수차 (예: 두께 변형 및 서피스 캐리오버) 를 감지하고 분류 할 수 있습니다. 이 기계는 반음계 수차 교정이 내장 된 고해상도 광학 현미경을 사용하여 웨이퍼 (wafer) 를 최고 정확도로 멀티 포인트 스캔합니다. 이 도구에는 비정상적인 패턴을 자동으로 인식하고 미리 정해진 표준 패턴 (standard pattern) 과 비교하도록 설계된 고급 (advanced) 알고리즘이 장착될 수도 있습니다. 이 자산은 또한 편광 현미경을 통합하여 처리량 및 감지 정확도를 높입니다. 이 모델은 쉽게 작동할 수 있도록 직관적인 사용자 인터페이스를 제공합니다. 여기에는 결함에 대한 수동 검토에 대한 통합 비디오 검사가 포함됩니다. 실시간 웨이퍼 매핑 (wafer mapping), 자동 초점 제어 (automated focus control) 등의 기능을 사용하면 빠르고 쉽게 스캔할 수 있습니다. 장비의 딥 러닝 (deep learning) 기능은 웨이퍼 맵의 직관적 인 3 차원 개요를 제공하며, 이는 웨이퍼의 모든 결함을 식별하는 데 사용될 수 있습니다. 결함 감지 (defect detection) 외에도 다른 유형의 임계 측정에도 사용할 수 있습니다. 필름 두께, 선 너비, 입자 밀도와 같은 측정에 대한 정확한 결과를 제공합니다. 또한 vias, trench, contact holes 및 posts와 같은 구조를 분석하는 데 사용할 수 있습니다. 또한 필름 평면도 및 기울기 측정과 같은 도량형 기능을 제공합니다. TENCOR P 15 의 통합 SPC 툴을 사용하면 통계 프로세스 제어 및 제품 품질 문제를 일으킬 수 있는 잠재적인 문제를 조기에 감지할 수 있습니다. 이 정보는 심층 분석 및 지속적인 프로세스 개선에 사용될 수 있습니다. 또한 원격 지원, 데이터 아카이빙, 보고 자동화 등 다양한 기능을 제공합니다. 전반적으로, KLA P 15는 프로세스 효율성을 높이고 정확한 결함 감지를 제공하기 위해 설계된 종합적인 웨이퍼 테스트 및 도량형 기계입니다. 이 도구의 직관적인 사용자 인터페이스와 강력한 도량형 (metrology) 기능은 반도체 산업에 이상적인 도구입니다.