판매용 중고 KLA / TENCOR P15 #9128280

KLA/TENCOR P15는 반도체 제조 공정을 지원하기 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 집적회로의 전기적 특성과 웨이퍼 표면 (wafer surface) 의 지형을 측정하는 기능이 있다. 이 시스템에는 고해상도 현미경이 포함되어 있으며, 이는 균열, 입자 오염, 공백 등 다양한 결함을 식별하는 데 사용됩니다. 클라이 P-15 (KLA P-15) 의 특수 조명 장치는 운영자에게 매우 높은 배율로 샘플의 자세한 이미지를 만들 수있는 기능을 제공합니다. TENCOR P 15에는 6 축 동작 스테이지가 장착되어 있어 웨이퍼 표면의 정확한 지점에서 많은 측정이 가능합니다. 이 기계는 고급 (advanced) 광 프로파일러 (optical profiler) 를 사용하여 고해상도에서 웨이퍼에 있는 개별 패턴의 깊이, 너비, 기울기를 측정합니다. 이러한 측정은 저항, 커패시턴스 (capacitance) 및 기타 전기 특성을 포함하여 회로의 전기 매개변수에 대한 자세한 정보를 제공합니다. 또한 P 15에는 SEM (Scanning Electron Microscope) 기능이 내장되어 있어 오염 및 불완전한 흔적과 같은 매우 구체적인 결함을 감지 할 수 있습니다. SEM은 나노 스케일 (nanoscale) 에서 상호 연결을 탐색하여 전통적인 광학 측정 (optical measurements) 이 제공 할 수있는 것 이상의 웨이퍼 기능에 대한 자세한 정보를 제공합니다. KLA P15 소프트웨어에는 이미지 분류 및 정렬을 자동화하는 고급 이미지 처리 (advanced image processing) 알고리즘이 포함되어 있습니다. 이는 수작업을 크게 줄이고 수작업 검사보다 더 정확한 결과를 얻을 수 있습니다. 이 소프트웨어는 시각적으로 식별하기 어려운 미묘한 결함을 감지 할 수 있습니다. KLA/TENCOR P 15는 반도체 제조에서 테스트 및 도량형을위한 다재다능하고 강력한 도구입니다. 정밀도가 높은 다양한 전기/지형 매개변수를 측정할 수 있고, 고해상도에서 미묘한 결함을 감지할 수 있습니다 (영문). 또한, 자동화된 이미지 처리 알고리즘은 지루한 수동 작업 (manual task) 을 보다 효율적으로 만들고, 정확한 결과를 보장합니다. 이를 통해 TENCOR P15는 반도체 생산에서 품질 관리를위한 이상적인 도구가 됩니다.