판매용 중고 KLA / TENCOR P15 #293662986

KLA/TENCOR P15는 재료 분석에 높은 성능, 유연성, 빠른 주기 시간을 제공하는 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템입니다. KLA P-15는 분광 타원법, 광학 산란법 (optical scatterometry) 및 다양한 도구를 포함한 고급 광학 도량형 기술을 사용하여 마이크로 일렉트로닉, 광학 및 생물학적 구성 요소로부터 광범위한 샘플을 특성화합니다. TENCOR P 15의 디자인은 이중 조리개 도량형 (Dual Aperture Metrology) 의 개념을 기반으로하며, 두 개의 밀접하게 간격을 둔 광학 채널을 통해 향상된 광학 정밀도를 제공하여 단일 또는 이중 뷰 측정에 유연성을 제공합니다. 또한, 맞춤형 샘플 클램핑 시스템 및 조절 가능한 샘플 컨택트 압력 (sample-contact pressure) 을 통해 다양한 샘플 모양과 크기를 수용 할 수 있습니다. 이 시스템에는 완전히 통합된 데이터 처리, 분석, 시각화 소프트웨어가 포함되어 있습니다. 각 측정을 통해 배울 수있는 적응 형 샘플링 엔진 (adaptive sampling engine) 과 향후 테스트를 최적화하기 위해 이 지식을 적용하고, 연산자의 개입을 최소화하면서 정확한 측정을 보장하는 자동 초점 기능 (autofocus feature) 을 갖추고 있습니다. 또한 자가 조정 (self-calibration) 기능은 시간에 따라 반복 가능한 결과를 보장하고 유지 관리 비용을 절감하는 데 도움이 됩니다. KLA/TENCOR P 15는 또한 온도 조절 테스트를위한 열실을 자랑하며, 이는 재료 과학 연구와 프로세스 검증 및 테스트에 유용합니다. 이 챔버는 다양한 온도에서 테스트 된 샘플에 대한 정확한 분석을 보장하며, 최대 측정 범위는 -60 ° C ~ + 400 ° C입니다. TENCOR P-15는 조사 대상 샘플의 광학 (optical) 및 물리적 (physical) 동작의 정확한 특성이 필요한 고정밀도 및 고출력 어플리케이션을 위해 설계되었습니다. 매우 높은 정확도, 고급 도량형 기술, 자동화된 데이터 처리 기능을 통해 재료 과학자, 엔지니어, 설계자 모두에게 유용한 툴이 됩니다.