판매용 중고 KLA / TENCOR P15 #293645079
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KLA/TENCOR P15는 최첨단 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비로, ULSI (Ultra-Large-Scale Integrated) 시스템 생산에서 가장 높은 수율을 보장합니다. KLA P-15는 반도체 장치의 기하학적, 전기적 매개변수를 빠르고 정확하게 측정하기 위해 고성능, 비접촉 웨이퍼 검사를 제공합니다. TENCOR P 15 (TENCOR P 15) 는 공압 스캐너를 특징으로하여 웨이퍼 접촉을 매우 빠른 속도로 움직이며, 웨이퍼 표면의 넓은 영역을 한 번에 측정 할 수 있습니다. TENCOR P15는 웨이퍼 표면의 이미지를 캡처하는 고해상도 이미징 시스템을 사용합니다. 그런 다음 단위는 이미지를 분석하여 패턴 정밀도, 장치 크기, 배치, 일반 서피스 지형을 측정합니다. 또한 트랜지스터의 저항, 커패시턴스, 인덕턴스와 같은 전기 특성을 측정 할 수도 있습니다. KLA는 최고의 수율을 보장하기 위해 최고의 에지 기술을 기계에 통합했습니다. 예를 들어, KLA P15는 0.02 미크론의 작은 구성 요소를 측정 할 수있는 고해상도 광학 프로파일로미터를 갖추고 있습니다. 또한 고출력 레이저 스팟 크기 감소 도구 (Laser spot size reduction tool) 를 사용하여 작은 형상 피쳐를 손상시키지 않고 정확하게 조사 할 수 있습니다. 또한 TENCOR P-15는 자세한 시각 및 통계 결함 분석을 수행 할 수있는 자동 웨이퍼 (wafer) 분석을 제공합니다. 초당 최대 14,400 개 사이트의 속도로 스크래치, 마이크로 피트 (micro pit) 와 같은 미묘한 결함을 감지 할 수 있습니다. 또한 프로세스 기능, 솔더 범프 높이 (solder bump height), 평면도 (flatness) 와 같은 성능 매개변수를 확인할 수 있습니다. 이러한 기능을 통해 KLA/TENCOR P 15는 가장 강력하고 안정적인 시스템 중 하나입니다. 이 제품은 가장 엄격한 운영 환경의 요구 사항을 충족하고 능가하는 한편, 제조업체에게 중요한 테스트 데이터 (Test Data) 가 효율적이고 정확하게 수집되고 있다는 자신감 (Confidence) 을 부여합니다.
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