판매용 중고 KLA / TENCOR P12 #9392418
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ID: 9392418
Profilometer
NEWPORT VH3030-SP VIB Table
PC
Table extension panel
(2) Table bracket
Manual.
KLA/TENCOR P12 Wafer Testing and Metrology Equipment는 웨이퍼 테스트 및 검사를 위해 다용도 및 자동화 된 시스템입니다. 이 장치는 전체 설치 공간이 17 평방 피트 미만인 8 인치 또는 12 인치 웨이퍼를 수용하여 실험실 공간 활용도를 극대화할 수 있도록 설계되었습니다. 이 기계는 다기능적이며 다양한 웨이퍼 검사, 도량형 및 테스트 응용 프로그램을 제공합니다. 공구는 제어 장치, 동작 및 웨이퍼 처리 컴포넌트, 프로세스 제어/검사 모듈로 구성됩니다. 제어 장치에는 19 인치 캐비닛 또는 랙에 설치할 수 있는 19 인치 랙 장착 컨트롤러가 포함되어 있습니다. 에셋에는 모터 드라이브 보드, 모션 카드, 멀티 축 서보 헤드 및 웨이퍼 (wafer) 전송을 지원하는 데 필요한 웨이퍼 처리 구성 요소도 포함됩니다. 이 모델은 1 미크론 내에서의 위치 정밀도를 갖춘 고정밀 힘 감지 (high-precision force sensing) 및 동작 제어 기능을 갖추고 있으며, 최대 3 개의 동시 연산을 지원합니다. 또한 실제 도량형, 검사, 테스트 작업을 수행하는 데 필요한 프로세스 제어/검사 모듈도 포함됩니다. 공정 제어/검사 모듈에는 습식 스테이션 이미징, 드라이 스테이션 이미징, 화학/야금 분석, 특정 결함 측정 및 검토가 포함됩니다. 이 장비는 높은 처리량, 신뢰성, 자동화된 운영 및 통계 프로세스 제어를 위해 설계되었습니다. 이 시스템은 또한 소프트웨어 패키지 (software package) 를 제공하여 사용자 정의 레시피를 만들고, 자세한 결과 및 데이터를 캡처, 보고할 수 있습니다. 이 장치는 직관적인 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 와 대화형 자습서를 사용하여 사용자 친화적이고 사용하기 쉽도록 설계되었습니다. KLA P 12 Wafer Testing and Metrology Machine은 반도체 및 태양 전지 생산을 포함한 다양한 산업에서 사용하기에 적합합니다. 또한 연구 개발 운영을위한 귀중한 도구입니다. 빠른 처리 속도, 견고성, 광범위한 프로세스 제어 옵션을 갖춘 TENCOR P-12 (TENCOR P-12) 는 웨이퍼 테스트 및 도량형에 이상적인 도구입니다.
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