판매용 중고 KLA / TENCOR P12 #9358965

KLA/TENCOR P12 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비 (Metrology Equipment) 는 제조 과정에서 반도체 웨이퍼의 품질을 보장하도록 설계된 자동 결함 검사 시스템입니다. 이 장치는 다양한 감지 및 측정 기술을 사용하여 웨이퍼 재료 (wafer material) 의 결함을 식별합니다. 웨이퍼에서 다양한 입자 크기, 모양 및 다양한 유형의 불완전성 (예: 라인 에지/공간 변동, 보이드, 입자, 긁힘, 오염) 을 감지하고 측정 할 수 있습니다. KLA P 12는 웨이퍼 처리 및 매핑 기계 (wafer handling and mapping machine), 검사 도구 및 이미징 도구가 장착 된 검사 모듈을 포함하는 고급 장비입니다. 이 도구는 하이엔드 프로세스 제어 및 결함이 없는 웨이퍼에 필요한 20nm 해상도를 제공합니다. 이 도구는 멀티 모드 웨이퍼 처리 에셋을 사용하여 웨이퍼의 정확한 이동, 정확한 위치 지정 및 정렬을 제공합니다. 이미징 모델에는 직접 광학 현미경이있는 악티닉 (actinic) 및 브라이트 필드 조명 배열이 포함됩니다. 이 장비는 웨이퍼의 실시간 고해상도 이미지를 통해 표면 불규칙성, 결함, 입자를 감지하고 측정 할 수 있습니다. 텐코 P-12 (TENCOR P-12) 는 입자와 결함 크기와 모양을 감지하고 분류 할 수있는 강력한 결함 분석 소프트웨어를 갖추고 있습니다. 이 시스템은 또한 장치 밀도, 선 너비, 두께 변화 등 웨이퍼의 중요한 피쳐를 식별할 수 있습니다. 디바이스의 통계 (statistics) 와 예상 값 (expected values) 을 비교할 수 있으며 세부 항목이 없는 경우 연산자에게 경고를 보냅니다. 또한 주요 데이터 스토리지 및 Report 생성 기능을 통해 상세한 프로세스 보고서 모니터링 및 아카이빙을 수행할 수 있습니다 (영문). 전반적으로, KLA/TENCOR P-12는 웨이퍼의 입자와 결함을 검출, 측정하여 반도체 생산량을 극대화하도록 설계된 강력한 웨이퍼 테스트 및 도량형 기계입니다. 20nm 해상도, 강력한 결함 분석 소프트웨어, 데이터 스토리지/보고서 생성 기능을 통해 모든 반도체 제조 비즈니스에 귀중한 자산이 됩니다.