판매용 중고 KLA / TENCOR P12 #293800615

KLA/TENCOR P12는 프로세스 제어 솔루션의 글로벌 리더 인 KLA가 개발 한 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 시스템은 임계 치수 (CD) 변형, 오버레이, 작고 큰 편평, 결함 감지, 박막 두께 등 다양한 중요한 매개변수를 측정할 수 있습니다. 이 장치는 최대 웨이퍼 투 웨이퍼 처리량, 품질 및 생산성을 위해 설계되었습니다. KLA P 12는 고급 패턴 인식 소프트웨어와 결합 된 하부 나노 미터 정확도 X 선 레이저 초점 기반 머신을 사용하여 우수한 분석을 제공합니다. 고급 테스트 (advanced testing) 기능의 핵심에는 혁신적인 조명 디자인 (illumination design) 이 있어 실제 장치 기능과 필름 레이어를 모두 감지할 수 있습니다. 다중 스펙트럼 검출기 어레이는 CD, 오버레이, 증착 필름 및 기타 기능에 대한 매우 정밀하고, 빠르고, 파괴적이지 않은 측정을 가능하게합니다. 에셋에는 6 축 웨이퍼 스테이지와 200mm 웨이퍼 용량이 장착되어 있어 고속 처리량 및 논스톱 (non-stop) 동작이 가능합니다. 고급 광학 및 조명 설계는 하부 미크론 수준까지 기능을 최적으로 측정합니다. TENCOR P-12는 기능 크기와 재료를 검사하는 몇 가지 광 구성과 FOV (Inspection Field-of-View) 설정 및 확대/축소 기능을 제공합니다. 소프트웨어 수준에서 P 12 는 다양한 차트와 그래프 형태로 정보를 제대로 표시하기 위한 강력한 분석/시각화 (Visualization) 툴을 갖추고 있습니다. 이 모델은 또한 글로벌 정렬 (Global Alignment), 테스트 다이 (Test Die) 와 대상 (Target) 간의 불일치를 보완하여 정확도와 처리량을 높입니다. 또한 P-12 는 여러 테스트 구성을 지원하므로 테스트 샘플 수를 최적화할 수 있습니다. 유연한 자동화 지원 (Flexible Automation Support) 을 통해 기존 운영 프로세스에 완벽하게 통합할 수 있으며, 광범위한 통신 인터페이스를 통해 다양한 데이터 전송 방법을 사용할 수 있습니다. 요약하면, KLA/TENCOR P 12는 탁월한 도량형 정확도, 처리량, 유연성을 결합하여 제조 공정의 최고 품질과 생산성을 보장하는 완벽한 웨이퍼 테스트 및 도량형 솔루션을 제공합니다.