판매용 중고 KLA / TENCOR P12 #293595755

KLA / TENCOR P12
ID: 293595755
웨이퍼 크기: 6"-8"
Disk profiler, 6"-8".
KLA/TENCOR P12는 웨이퍼 표면 지형 및 화학 조성을 정확하게 측정하도록 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 다양한 기능을 갖추고 있어 다양한 반도체 (semiconductor) 와 광전자 (optoelectronic) 애플리케이션에 적합합니다. KLA P 12는 주사 전자 현미경 (SEM) 기둥, 보편적 단계 및 수직 단계를 특징으로합니다. SEM 열은 고해상도 이미징을 제공하여 웨이퍼 표면의 세밀한 세부 사항을 보여줍니다. 유니버설 스테이지 (Universal Stage) 는 직경이 최대 200mm 인 웨이퍼를 처리 할 수 있으며, 2 개의 스테이지가 있으며, 서로 다른 각도로 이미징을 배치 할 수 있습니다. 수직 단계 (vertical stage) 는 전자 빔 아래 웨이퍼의 미세한 위치를 허용합니다. TENCOR P-12에는 원하는 표면 피쳐를 빠르고 정확하게 찾을 수있는 고속 자동 초점 카메라가 포함되어 있습니다. 이 카메라는 2D 및 3D 분석 및 이미징을 위한 PC 기반 이미징 플랫폼에 연결되어 있습니다. 또한이 장치에는 이온 소스, 저진공 챔버 및 EDX (Energy Dispersive X-Ray) 검출기와 같은 여러 옵션 액세서리가 장착되어 화학적 분석 기능을 제공합니다. KLA/TENCOR P-12는 포괄적 인 도량형 제품군을 자랑합니다. 메뉴 기반 소프트웨어는 사용자 친화적 인 설계를 특징으로하며 기울기 측정, CD (임계 치수) 도량형, x-y 단계 교정 및 정렬, 결함 분석 등 다중 매개 변수 측정을 수행할 수 있습니다. CD 도량형은 웨이퍼 패턴의 정확성과 균일성을 보장하는 데 특히 유용합니다. 기계는 또한 웨이퍼 스테이지에서 여러 웨이퍼를 쉽게 정렬하는 자동 정렬 기능 (auto-alignment function) 으로 구성됩니다. 전반적으로, TENCOR P 12 웨이퍼 테스트 및 도량형 도구는 많은 반도체 및 광전자 응용 프로그램에 이상적인 선택으로, 웨이퍼 표면의 빠르고, 정확하고, 상세한 측정이 필요합니다. 강력한 이미징 기능과 다양한 측정 기능 (Measuration Function) 을 통해, 업계 최고의 결과를 제공하며, 일상적으로 사용할 수 있는 신뢰할 수 있는 도구입니다.
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