판매용 중고 KLA / TENCOR P11 #9397724
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KLA/TENCOR P11 Wafer Testing and Metrology 장비는 표면 지형, 피쳐 크기, 결함 특성 등의 웨이퍼 특성을 정밀하게 측정할 수 있도록 설계되었습니다. KLA P-11에는 여러 광학 및 전기 프로브, 서브 미크론 해상도 전동 스캐닝 기술이 장착되어 있어 광범위한 웨이퍼 기판을 정확하게 분석합니다. 이러한 측정을 통해 엔지니어와 과학자들은 대용량 생산 환경에서 개별 구조를 특성화하고 표면 마무리, 선 너비, 임계 치수 균일 (critical dimension unifority), 결함 분포 (defect distribution) 와 같은 매개변수의 정확한 측정을 달성할 수 있습니다. 이 시스템은 광학 설계를 통해 광학 이미징 및 나노미터 스케일 (nanometer-scale) 정밀도 측정을 제공할 수 있습니다. 이동 가능한 레이저 소스 (movable laser source) 는 웨이퍼 샘플을 비추며, 이 샘플은 표면에서 반사되어 광학 수신기에 의해 수집됩니다. 그런 다음, 수집된 데이터를 캡처하여 나중에 분석을 위해 저장하는 데 이미징 모듈을 사용합니다. 수집 된 데이터를 분석하기 위해 TENCOR P 11은 여러 물리적 및 수학적 알고리즘을 사용합니다. 이러한 알고리즘은 서피스 컨투어를 계산하고 샘플 프로파일을 표시하는 데 사용됩니다. 또한 서피스 결함 특성을 살펴보고 피쳐의 크기를 측정하는 데 사용됩니다. 또한 일련의 패턴 인식 도구 (예: 선 너비, 임계 치수 균일성, 결함) 를 샘플에서 인식하고 추출할 수 있습니다. 이러한 기능 외에도, KLA/TENCOR P 11은 여러 터치 스크린 메뉴와 직관적 인 그래픽 사용자 인터페이스를 갖춘 정교한 사용자 인터페이스를 갖추고 있습니다. 수동 입력 (Manual Input) 및 자동 입력 (Automated Input) 이 지원되며, 시스템이 데이터 추적 및 워크플로우 관리를 위해 데이터를 저장 및 카탈로그화할 수 있습니다. 이 툴에는 데이터 무결성을 보장하고 데이터 손실을 방지하는 몇 가지 보안 (security) 주의 사항이 있습니다. P11 웨이퍼 테스트 및 도량형 (P11 Wafer Testing and Metrology) 자산은 웨이퍼 기판에 정확하고 안정적인 측정을 제공하기 위해 강력한 도구이며, 반도체 생산 환경에서 일하는 프로세스 엔지니어 및 과학자에게 필수적인 도구입니다.
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