판매용 중고 KLA / TENCOR P11 #9355497

ID: 9355497
Wafer surface profiler, parts system.
KLA/TENCOR P11은 KLA에서 개발 한 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 최첨단 (Lead-Edge) 기술을 사용하여 다양한 반도체 재료에 대한 정확한 측정 및 데이터 해석을 수행합니다. 이 시스템은 큰 모양, 긴 동작 범위, 높은 반복성 (repeativility) 을 렌더링하기 위한 선형 스캔 (linear scan) 단계로 설계되어 정밀성, 반복성 및 정확성을 보장합니다. KLA P-11은 두께, 평평, 곡률 반경, 경사 및 반경, 커패시턴스, 저항, 유전성 등의 전기 특성과 같은 웨이퍼의 물리적 특성을 측정 할 수 있습니다. 이 제품은 번개가 빠른 CMOS 기반 이미징 장치를 사용하여 웨이퍼 표면의 결함을 감지하고 이러한 결함을 정량화하기 위해 자동 컴퓨터 지원 도량형 (computer-aided metrology) 기능을 사용합니다. 이 기계의 고해상도 이미징 (high-resolution imaging) 기능을 통해 웨이퍼에서 미세한 결함을 감지할 수 있으며, TENCOR P 11의 4 축 측정 헤드는 다양한 재료를 짧은 시간 안에 정확하게 스캔 할 수 있습니다. 또한 매우 정확한 단계 제어로 거친 서피스 (rough surface) 와 부드러운 서피스 (smooth surface) 를 모두 스캔할 수 있습니다. 이 도구에는 공차를 식별하고 컴포넌트 간의 변형을 정량화하는 고급 분석 알고리즘도 있습니다. 다양한 속도, 정확도 수준에서 다양한 기능을 여러 방향으로 측정할 수 있어, 정확하고 빠른 결과를 얻을 수 있습니다. TENCOR P-11은 직관적 인 사용자 인터페이스와 유연한 네트워킹 기능을 제공합니다. 다양한 플랫폼에서 원격 액세스 및 제어 가능 또한 8 "~ 12" 의 다양한 웨이퍼 크기를 지원하며 높은 처리량을 지원하고 TCO (총소유비용) 를 유지할 수 있도록 설계되었습니다. P-11은 반도체 제조에서 품질 제어를 위한 다목적 도구이며, 안정적이고, 정확하며 정확한 결과를 제공합니다. 풍부한 기능과 유연한 디자인으로, 모든 반도체 제조 시설에 적합한 도구입니다.
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