판매용 중고 KLA / TENCOR P11 #9314006

KLA/TENCOR P11은 프로세스 제어, 연구 및 개발을 위해 빠르고 정확한 웨이퍼 기하학적 측정을 제공하는 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 자동화된 다이 정렬 기능과 선 너비, 선 모서리 거칠기와 같은 임계 치수 (CD) 측정, 패턴 평탄도, 스캐닝 간섭계와 같은 영역 측정 등 다양한 웨이퍼 기하학적 측정을 지원합니다. 혁신적인 고속 광 모듈 (High-Speed Optical Module), 독특한 렌즈 디자인 (Lens Design), 고급 조명 장치 (Advanced Illumination Unit) 를 통해 가장 복잡한 기하학적 기능을 정확하게 측정 할 수 있습니다. KLA P-11 시스템은 유연성이 높으며 여러 애플리케이션을 지원합니다. 모듈식 (modular) 과 업그레이드 가능 (upgradable) 방식으로 설계되어, 제조업체에 연락할 필요 없이 새로운 기능을 추가할 수 있습니다. 이 제품은 웨이퍼 (wafer) 당 측정치를 극대화하여 연구/운영 환경에 높은 처리량과 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다. TENCOR P 11은 평면 패널 디스플레이와 최대 300mm 직경의 샘플 웨이퍼를 모두 수용하도록 구성 할 수 있습니다. 이 도구에는 높이, 면적, 선 폭, 임계 치수 (critical dimension measurements) 와 같은 데이터를 수집 할 수있는 매우 정교한 이중 빔 광학 현미경 자산이 장착되어 있습니다. P11은 또한 고정밀 전동 높이 축 (Motorized Height Axis) 과 전동 검사 단계를 제공하여 측정 위치와 반복 가능한 결과를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 또한 KLA P 11은 자동화된 자동 제로 보정 모델을 통합하여 정확하고 반복 가능한 측정을 보장합니다. 또한, 장비에는 직경 별 레시피로 구성된 온보드 라이브러리 (on-board library of diameter-specific recipe) 가 있으며, 수동 교정 없이도 웨이퍼 도량형 시스템을 빠르게 설정하고 측정할 수 있습니다. 전반적으로, TENCOR P-11은 정확하고 유연한 웨이퍼 테스트 및 도량형 솔루션으로, 연구 및 생산 응용 프로그램 모두에 대한 정확한 측정 및 비용 효율적인 운영을 지원합니다. 정교한 이중 빔 광학 현미경 장치 (Optical Microscope Unit) 와 자동 교정 (Automated calibration) 은 정확한 측정을 보장하는 반면, 온보드 라이브러리와 업그레이드 가능한 기능은 연장 기간 동안 최첨단 기능을 유지할 수 있습니다.