판매용 중고 KLA / TENCOR P11 #9248607

KLA / TENCOR P11
ID: 9248607
웨이퍼 크기: 6"-8"
Surface profiler, 6"-8".
KLA/TENCOR P11은 반도체 제작 프로세스의 각 단계에서 빠르고 정확한 프로세스 제어 피드백을 제공하기 위해 설계된 최첨단 wafer 테스트 및 도량형 장비입니다. 결함 검사, 오버레이 도량형 및 결함 검토의 기능을 결합합니다. 이 시스템은 광범위한 Probe 카드와 호환되며, 업계 최고의 마스크 규칙 검사기 (Mask Rule Checker) 와 호환되는 마스크 패턴이 있습니다. KLA P-11은 고해상도 HD 초해상도 (Super-Resolution) 기술을 탑재하여 결함 감지 정확도를 높일 수 있는 뛰어난 웨이퍼 이미징 기능을 제공합니다. 이 장치는 고급 알고리즘 (advanced algorithms) 을 사용하여 웨이퍼 이미지를 분석하고 결함을 분석하여 정확하고 안정적인 결함 분류 및 결함 검토를 허용합니다. 이를 통해 신속하고 정확한 결함 인식 (Defect Recognition) 을 통해 매우 미세한 비정규성이 있는 웨이퍼를 빠르고 정확하게 식별 할 수 있습니다. TENCOR P 11은 비 접촉 오버레이 도량형에 다중 센서 접근 방식을 사용합니다. 이를 통해 마스크와 기본 실리콘 웨이퍼 사이에 빠르고, 정확하고, 반복 가능한 정렬 측정이 가능합니다. 기본 실리콘 웨이퍼 (silicon wafer) 의 표면 토폴로지에 대한 복셀 정렬 및 검사에 의해, 이 정렬의 정확도는 여러 웨이퍼 및 로트에 걸쳐 유지 될 수있다. KLA/TENCOR P-11 웨이퍼 테스트 및 도량형 기계는 표준 선반 외 컴퓨팅 플랫폼에서 실행됩니다. 즉, 운영자가 모든 에셋 모드, 매개변수, 설정에 빠르게 액세스할 수 있게 해 주는 다양한 메뉴, 버튼 세트가 포함된 '도구' 화면의 직관적인 사용자 인터페이스를 제공합니다. 요약하면, P11은 최첨단 웨이퍼 테스트 및 도량형 모델입니다. 이 제품은 결함 감지 정확성, 비접촉 오버레이 (non-contact overlay) 도량형의 정확하고 반복 가능한 결과, 그리고 전체 프로세스를 빠르고 효율적으로 관리할 수 있는 잘 구성된 사용자 인터페이스 (user interface) 를 위한 탁월한 웨이퍼 이미징 기능을 제공합니다.
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