판매용 중고 KLA / TENCOR P11 #9188381
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KLA/TENCOR P11은 300mm 웨이퍼 제작과 관련된 프로세스를 위해 설계된 고성능 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 고급형 (High-End) 프로세스 생산에 필수적인 높은 정확성과 반복 가능한 테스트 결과를 제공할 수 있습니다. 높은 수준의 품질 보증 (Quality Assurance) 기능을 제공하며 크기가 10 nm 정도인 웨이퍼를 테스트할 수 있습니다. KLA P-11은 분당 최대 10 웨이퍼의 빠른 처리량으로 고속 웨이퍼 테스트를 제공하여 대규모 제조에 이상적입니다. 또한 자동 품질 관리 (Automated Quality Control) 및 데이터 분석 (Data Analysis) 기능을 통해 사용자는 프로세스를 포괄적으로 파악하고 신속하게 문제를 파악할 수 있습니다. TENCOR P 11은 현미경, 표면 및 화학 분석에 중점을 둔 입자 오염을위한 다양한 도구를 통해 광범위한 웨이퍼 테스트 (wafer test) 및 도량형 (metrology) 요구를 충족합니다. 이 기계는 또한 결함 검토, 입자 검사, 이진 (binarization), 필름 두께 측정 등 다양한 광학 및 이미징 기능을 제공 할 수 있습니다. 또한 대용량 자동 초점 및 서보 제어 시스템을 통해 정밀 정렬 및 포지셔닝 기능을 제공합니다. 이를 통해 테스트 프로세스가 정확하고, 반복 가능하며, 결함이나 입자를 올바르게 식별하고 분석 할 수 있습니다. 또한 TENCOR P11 은 데이터 분석/보고 툴을 포함한 다양한 데이터 분석 기능을 갖추고 있습니다. 이를 통해 사용자는 특정 요구 사항에 적합한 다양한 형식으로 정확한 테스트 보고서 (Test Report) 를 생성할 수 있습니다. 전반적으로 P-11 (P-11) 은 대규모 프로세스 생산에 필수적인 정확하고 반복 가능한 결과를 제공하도록 설계된 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 자산입니다. 이 모델은 입자 테스트 (Particle Testing) 에서 광학 및 이미징 (Optical and Imaging) 기능에 이르기까지 광범위한 테스트/도량형 (Test/Metrology) 작업을 처리할 수 있으며, 프로세스 전체 그림을 위한 포괄적인 데이터 분석/보고 툴을 제공하여 신속하게 문제를 감지할 수 있습니다.
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