판매용 중고 KLA / TENCOR P11 #293809525
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KLA/TENCOR P11은 테스트 및 도량형 기능을 하나의 통합 플랫폼으로 결합한 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 웨이퍼 레벨 스크리닝 및 리버스 엔지니어링 응용 프로그램을 위해 설계되었습니다. KLA P-11 장치는 이미지 인식 (image recognition) 및 패턴 인식 (pattern recognition) 기술을 사용하여 웨이퍼 또는 기판에 결함이 있는 기능을 감지합니다. 또한 웨이퍼 (wafer) 장치의 전기 및 물리적 특성을 측정하고 다이 위치, 결함 및 기타 매개변수 배열에 대한 정보를 제공 할 수 있습니다. TENCOR P 11은 이미징, 2D 측정, 중요 치수 (CD) 측정, 전기 테스트 (전기 테스트 및 재시험), 중요 영역 분석 및 고급 결함 분석을 포함한 다양한 측정 기술을 사용합니다. 또한 고급 3D 매핑 및 프로파일링 기능과 고급 결함 감지 기술을 제공합니다. KLA/TENCOR P 11 분광형 이미징 기술을 사용하여 다양한 유형의 결함 및 토폴로지 기능을 감지하고 구별 할 수 있습니다. 또한 CVU, IVu 및 OD 측정과 같은 다양한 비 파괴 전기 테스트 기술을 지원합니다. TENCOR P-11 기계에는 다이 자동 할당 (die autolocation) 을위한 고급 fiducial 정렬 도구가 장착되어 있으며, 자산 작동을 단순화하고 정렬 정확도를 최대화합니다. KLA/TENCOR P-11은 또한 4 개의 뚜껑면 웨이퍼 캐리어로 시간당 최대 500 개의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. P11의 고급 이미지 분석을 통해 현미경 결함, 대형 오픈 사이트, 스크래치 및 기타 지형 결함을 포함한 신속한 결함 식별이 가능합니다. 또한, 이 모델에는 검사 된 구조를 라이브러리에 저장된 알려진 패턴과 비교하는 포괄적인 패턴 인식 (pattern recognition) 알고리즘이 포함되어 있습니다. P-11은 또한 평균 및 표준 편차, 최대, 최소 및 히스토그램 분석과 같은 다양한 통계 데이터 분석 도구를 제공합니다. 실시간 보고 (Reporting) 및 사용자 정의 보고 모듈 (Reporting Module) 을 통해 동향 및 통계에 대한 심층적인 분석을 제공합니다. 마지막으로, TENCOR P11 장비는 정확한 결함 현지화를 위해 설계되었으며 100 um x 100 um 면적에서 1 um의 정확도로 결함을 현지화 할 수 있습니다. 또한 로봇 처리 시스템, 멀티 다이 픽업 시스템, 자동 테스트 솔루션, 자동 도량형 솔루션 등 다양한 자동화 옵션을 제공합니다.
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