판매용 중고 KLA / TENCOR P11 #293661312
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KLA/TENCOR P11은 반도체 제작에서 웨이퍼 레벨 테스트 경험을 향상시키기 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 기기는 이전 모델인 P10 (P10) 의 최첨단 기술과 더 큰 P15 시스템의 고급 기능을 결합한 것입니다. 단일 유닛은 우수한 FTIR (Fourier Transform Infra-Red) 분석 및 높은 충실도 신호 캡처를 유지하면서 6 "~ 12" 의 다양한 웨이퍼를 수용 할 수 있습니다. 높은 정확도, 처리량, 사용 편의성을 통해 Wafer 수준 테스트 및 Metrology 애플리케이션을 모두 지원하는 강력한 툴입니다. KLA P-11은 획기적인 PDA (Photodiode Array) 기술을 구현하여 단일 전체 웨이퍼 측정으로 최대 44 개의 Photodiode 사이트에서 데이터를 캡처하고 소화합니다. 이 어레이의 각 포토 다이오드 (photodiode) 는 최대 충실도와 정확도로 신호를 얻도록 개별적으로 구성됩니다. 이 결과는 여러 위치에 걸쳐 상대적이고 절대적인 데이터 상관 관계를 갖는 포괄적인 측정으로, 탁월한 정확성과 더 적은 테스트 반복을 제공합니다. PDA 기술과 결합 된 TENCOR P 11의 FTIR 기능은 테스트 구조 및 성능 매개 변수에서 가장 미묘한 변형을 감지 할 수 있습니다. 따라서 수동/자동 테스트/도량형 시나리오에서 복잡한 신호 (signal) 및 노이즈 (noise) 분석을 위한 매우 정확한 데이터를 얻을 수 있습니다. 프로세스 제어 시스템은 KLA/TENCOR P 11과 함께 제공되어 웨이퍼 테스트 시퀀스 및 타이밍을 보다 효과적으로 제어할 수 있습니다. 이를 통해 ICL (Instrument Control Language) 프로그램 세트에 의해 가능한 웨이퍼 테스트 작업을 유연하고 정밀하게 실행할 수 있습니다. KLA/TENCOR P-11의 성능과 정확도를 높이고, 시간이 지남에 따라 정확성을 유지하기 위해, 독점적 인 광학 기술은 하드웨어 변동성을 보완하는 데 사용됩니다. 또한 자율 모니터링 (Autonomous Monitoring) 및 제어 (Control) 기능을 통해 광학 매개변수를 동적으로 조정하여 여러 다른 테스트에 대해 매우 정확한 응답을 유지할 수 있습니다. P11의 향상된 프로세싱 및 고급 옵틱은 고급 데이터 캡처 (advanced data capture), 정확한 파형 측정, 실시간 신호 분석, 기타 다양한 기능을 제공합니다. 전반적으로, 이 시스템은 테스트/도량형 애플리케이션의 데이터 정확도, 빠른 측정 시간, 운영 효율성을 향상시켜, 가장 까다로운 반도체 (semiconductor) 제작 작업에 이상적인 솔루션입니다.
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