판매용 중고 KLA / TENCOR P10 #9280853

KLA / TENCOR P10
ID: 9280853
빈티지: 1999
Surface profiler 1999 vintage.
KLA/TENCOR P10은 종합적인 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. KLA P-10 (KLA P-10) 을 통해 웨이퍼 제조업체는 웨이퍼 문제를 진단하고 웨이퍼 프로세스의 성능을 분석 할 수 있습니다. TENCOR P 10 시스템은 Wafer Align 도구와 Cover Metrology 도구의 두 가지 주요 구성 요소로 구성됩니다. 웨이퍼 정렬 (Wafer Align) 도구는 KLA P10의 광학 표면 평면에 웨이퍼를 정렬하는 데 사용되므로 웨이퍼 형상, 결함 및 기타 속성을 정확하게 측정할 수 있습니다. 커버 도량형 (Cover Metrology) 도구는 횡단면 이미징 기술을 사용하여 웨이퍼 토폴로지에 결함 또는 기타 불규칙성을 나타냅니다. P 10에는 자동 ID (ID) 및 인증도 있습니다. 이 ID 프로세스를 통해 웨이퍼 제조업체는 다른 웨이퍼 (wafer) 를 비교할 수 있습니다. 검증 프로세스 (Qualification process) 는 웨이퍼가 올바르게 준비되었으며 제조에 적합한지 확인합니다. 또한 TENCOR P10 장치에는 웨이퍼 제조업체가 In 및 Out-of-plane 웨이퍼 매개변수를 정확하게 측정 할 수있는 측정 도구 모음이 있습니다. 제조업체는 이러한 도구를 활용하여 웨이퍼 프로세스의 성능을 평가하고 이에 따라 P-10 머신을 조정할 수 있습니다. 게다가, 이 도구는 또한 자신의 개별 값을 보여주는 웨이퍼의 세부 선택 맵을 만들 수 있습니다. 또한 KLA P 10 자산에는 풍부한 정보보고 기능이 장착되어 있어 웨이퍼 제조업체가 웨이퍼 수율 수준 (wafer yield level), 두께 (thickness) 및 추가 관심 특성을 추적 할 수 있습니다. 이 모델은 테이블 형식과 그래픽 형식으로도 보고서를 생성할 수 있습니다. 따라서 사용자는 웨이퍼 테스트 결과를 시각적이고 포괄적으로 표시 할 수 있습니다. 전반적으로 TENCOR P-10은 다양한 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. WA (Wafer Manufer) 제조업체가 Wafer 프로세스의 성능을 정확하게 평가할 수 있는 포괄적인 툴과 기능을 제공합니다. 또한, 이 시스템은 사용자가 wafer 테스트 결과를 모니터링하고 검토할 수 있는 유용한 보고 기능도 제공합니다. 합쳐서, KLA/TENCOR P-10은 웨이퍼 제품의 성능을 측정하고 평가하기위한 강력한 단위입니다.
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