판매용 중고 KLA / TENCOR P10 #9280590
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KLA/TENCOR P10은 자동화된 비파괴 특성 및 Fab-wide 품질 제어를 제공하는 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 고속 측정 기능과 모든 유형의 반도체 웨이퍼에 대한 고급 도량형 (Advanced Metrology), 검사 및 테스트 솔루션을 갖추고 있습니다. 이 시스템은 자동 웨이퍼 지형, 화학 매핑, 웨이퍼 코딩 솔루션, 자동 부품 배치 (automated part placement) 및 결함 검사 (defect inspection) 기능과 같은 고급 자동화를 제공합니다. 혁신적인 인수 (Acquiration) 기술을 활용하여 빠른 속도와 정확도를 유지하면서 데이터를 빠르고 정확하게 수집합니다. KLA P-10 은 생산공정 전반에 걸쳐 결함을 감지하고 웨이퍼 성능을 모니터링할 수 있는 고급 옵틱, 소프트웨어, 감지 시스템으로 구동됩니다. 이 장치는 처음부터 끝까지 웨이퍼 (wafer) 를 검사하고 측정하기 위해 제작되었습니다. 따라서 발생할 수있는 모든 문제에 대한 즉각적인 피드백 및 조치를 수행할 수 있습니다. 아날로그 및 디지털 측정을 동시에 실행할 수 있으며, 프로세스 제어 및 웨이퍼 무결성을 유지하는 고급 NIMS (Non-destructive Integrity Monitoring Machine) 가 있습니다. TENCOR P 10의 주요 장점은 높은 정확도, 높은 처리량, 포괄적인 데이터 분석 기능입니다. 고급 웨이퍼 지형 도구 (Advanced Wafer Topography Tool) 는 단일 칩에 대한 자세한 측정을 제공하여 웨이퍼 표면의 작동 방식에 대한 귀중한 통찰력을 제공합니다. 자산은 또한 결함 감지 (Defect Detection) 및 특성화 (Characterization) 를 효율적으로 수행하므로, 운영 중단을 방지하기 위해 문제를 신속하게 해결할 수 있습니다. 또한 자동화된 웨이퍼 코딩 (wafer coding) 솔루션을 통해 제조 프로세스 전반에 걸쳐 빠르고 쉽게 웨이퍼를 추적할 수 있으므로 각 wafer 의 성능을 완벽하게 파악할 수 있습니다. P10 은 반도체 업계의 가장 엄격한 요구 사항을 충족하는 안정적이고 효율적인 웨이퍼 테스트 (wafer testing) 및 도량형 모델입니다. 고급 자동화 기능과 신속한 데이터 수집 (Data Collection) 기능이 이 장비의 가장 큰 장점 중 하나입니다. KLA P10 은 Wafer Surface 에 영향을 미치기 전에 가능한 결함을 파악할 수 있는 고급 이미징 (Advanced Imaging) 및 분석 (Analysis) 기능을 제공하며, 오류, 검사에 소요되는 시간, 결국 운영 중단을 줄이는 데 도움이 됩니다.
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