판매용 중고 KLA / TENCOR P10 #9261861
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KLA/TENCOR P10은 반도체 웨이퍼의 성능을 신속하게 검사하고 측정하기 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 최신 고급 검사 (advanced inspection) 및 도량형 (metrology) 기술을 통합하여 높은 처리량과 반복 가능한 정확한 측정을 제공합니다. KLA P-10 장치의 중심에는 고해상도 이미지 센서가 있으며, 최대 500nm 해상도로 이미지를 캡처할 수 있습니다. 센서와 고급 신호 처리 알고리즘을 결합 한 TENCOR P 10 (TENCOR P 10) 은 웨이퍼 표면의 결함을 빠르고 정확하게 감지 할 수 있습니다. 표면 결함을 찾는 것 외에도, P-10은 매우 높은 정확도로 다양한 장치 및 프로세스 매개변수를 측정 할 수 있습니다. 또한 P10에는 기계의 기능을 확장하는 다양한 측정 모듈이 포함되어 있습니다. 여기에는 레이저 반사계, 3D 광학 도량형 및 스캐닝 전자 현미경이 포함됩니다. 이러한 모듈을 통해 KLA/TENCOR P 10은 라인 너비, 피쳐 크기, 깊이 프로파일, 접촉 각도와 같은 반도체 기능을 높은 정확도로 측정할 수 있습니다. TENCOR P-10에는 작업을 간소화하는 다양한 도구가 제공됩니다. 여기에는 작업 관리자, 결함 검사 검토 도구, 레시피 편집기 (recipe editor) 가 포함되며, 사용자가 작업을 빠르고 쉽게 생성, 수정, 실행할 수 있습니다. 또한 KLA P 10은 KLA Suite 소프트웨어와 통합되어 추세 분석 및 항복 최적화를 위한 강력한 분석 도구를 제공합니다. TENCOR P10은 대용량, 고수율, 저비용 작동을 위해 설계되었으며, 생산 테스트 및 프로세스 평가에 적합합니다. KLA/TENCOR P-10은 고급 검사 및 도량형 기능을 사용 편의성과 결합하여 효율적인 웨이퍼 테스트 및 프로세스 제어에 이상적인 솔루션입니다.
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