판매용 중고 KLA / TENCOR P10 #9243616

KLA / TENCOR P10
ID: 9243616
웨이퍼 크기: 6"-8"
Profiler, 6"-8".
KLA/TENCOR P10 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비는 반도체 산업의 요구를 충족시키기 위해 설계된 자동 측정 솔루션입니다. 이 시스템은 여러 프로세스 단계에서 빠르고, 정확하며, 반복적으로 wafer를 측정할 수 있도록 설계되었습니다. 직경이 최대 200mm 인 와퍼를 측정 할 수 있으며 GaAs 및 Si 웨이퍼를 모두 처리하는 데 이상적입니다. KLA P-10의 주요 구성 요소에는 스캔 단계, 조명 소스, 검출기, 분석 소프트웨어 및 정밀 조작기가 포함됩니다. 스캐닝 단계 (Scanning Stage) 는 광시야에서 고속 스캐닝을 제공하여 빠르고 정확한 측정이 가능하도록 설계되었습니다. 조명 소스는 전체 웨이퍼 표면에 균일 한 조명 설정을 제공하는 강력한 제논 램프 (xenon lamps) 로 구성됩니다. "탐지기 '는 조명 된" 웨이퍼' 로부터의 열 방출 을 탐지 하기 위하여 설계 되어 측정치 의 정확도 를 높여준다. 분석 소프트웨어 (analysis software) 는 사용자에게 친숙한 소프트웨어로, 사용자가 웨이퍼의 결함을 신속하게 파악하고 적절한 해결 조치를 취할 수 있습니다. 마지막으로, 정밀도 조작기 (precision manipulator) 를 사용하면 웨이퍼를 분석 및 측정에 적합한 위치로 이동할 수 있습니다. TENCOR P 10은 빠른 속도, 자동 Gantt (Automated Gantt) 작업 및 웨이퍼 표면을 신속하게 분석하도록 설계된 다양한 도구를 활용하여 생산성과 정확도를 향상시킵니다. 또한 사용자는 자동 입자 감지 기능 (automatic particle detection capability) 과 CCD 체크리스트 (checklist) 를 활용하여 정확도를 향상시켜 복잡한 결함을 신속하게 파악할 수 있습니다. 또한 KLA/TENCOR P-10 장치는 온도와 압력 조절을 통합하여 다양한 적대적인 환경에서 측정할 수 있도록 합니다. 온도 와 압력 을 정확 하게 모니터링 할 수 있어서, 각 "웨이퍼 '는 항상 최적 인 상태 에서 측정 된다. P10은 빠르고, 정확하며, 반복 가능한 웨이퍼 측정을 제공하도록 설계되었습니다. 자동화된 측정 플랫폼과 고급 조명 (Lightimation) 및 탐지 기술을 결합하여 효율성과 정확성을 향상시킵니다. 이 기계는 생산성 향상, 측정 정밀도 향상, 온도와 압력 제어 기능 통합 (Integrated Temperature and Pressure Control) 을 제공하여 사용자가 가장 적대적인 환경에서도 측정할 수 있도록 합니다.
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