판매용 중고 KLA / TENCOR P10 #9233591

KLA/TENCOR P10은 높은 처리량 웨이퍼 측정 및 결함 검사를 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 3 차원 이미징 기술을 통해 KLA P-10은 높이, 저항, 구성, 미세 결함 등을 포함하여 박막 구조의 정확한 표면 및 깊이 분석을 제공 할 수 있습니다. 이 시스템은 특허를받은 형태 기반 결함 감지 알고리즘을 사용하여 도전적인 패턴 처리 (patterning process) 에서도 사소한 불규칙성을 감지합니다. TENCOR P 10 (TENCOR P 10) 은 최소 설치 공간을 갖춘 컴팩트 한 디자인으로, 최대 300mm 직경의 웨이퍼를 수용 할 수 있습니다. 시간당 최대 300 개의 웨이퍼를 측정 할 수 있으며, 이는 높은 처리량 웨이퍼 제작에 이상적인 단위입니다. 또한 KLA P10에는 3D 데이터 디스플레이, 3D 오버레이 분석, 오버레이 오류 맵 등 다양한 고급 분석 기능이 제공됩니다. 이 데이터는 라인 너비 (line width) 와 같은 높은 확대 결과를 신속하게 젤링하여 리소그래피 프로세스를 특성화하고 모니터링할 수 있습니다. P 10은 또한 도량형 결과의 정확성을 향상시키기위한 많은 기능을 제공합니다. 기계는 Automatic Focus Adjustment를 사용하여 데이터 수집 지점이 일관되고 정확한지 확인합니다. 또한 OptiChart 소프트웨어를 사용하면 패턴 분할 (pattern segmentation) 및 결함 자동 매핑이 가능하며, 필요할 때 수동 재검색도 가능합니다. 또한 TENCOR P-10은 비파괴적 인 임계 치수 도량형 도구를 자랑하여 저항성, 구성 등을 정확하게 측정 할 수 있습니다. 에셋은 또한 열 효과 및 토폴로지의 효과에 대응하기위한 드리프트 보상 소프트웨어 (drift compensation software) 를 특징으로합니다. KLA/TENCOR P-10은 다양한 모델로, 수많은 벤치마킹 및 분석 기능을 제공합니다. TCO (총소유비용) 와 다양한 기능으로 인해 반도체 제작 및 자재 분석 (materials analysis) 에 이상적인 선택이 됩니다. P10은 오늘날의 웨이퍼 제조 환경에서 정밀 도량형 및 결함 검사에 이상적인 선택입니다.