판매용 중고 KLA / TENCOR P10 #9215072

KLA/TENCOR P10 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비는 제조 공정 전반에 걸쳐 최고 수준의 정밀도, 정확도 및 반복 성을 제공하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 자동 환경에서 웨이퍼 검사 및 도량형을 위해 설계되었습니다. KLA P-10은 특정 프로세스의 모든 웨이퍼를 테스트 할 수있는 완전 자동화 장치입니다. 여기에는 고성능 옵티컬 머신 (Optical Machine), 정밀 소프트웨어 제품군 (Precision Software Suite) 및 전체 웨이퍼 기능과 결함을 빠르고 정확하게 측정 할 수있는 완전 자동화 조작 도구가 포함됩니다. 이 자산은 최고 해상도, 반복 가능성, 웨이퍼 레벨 균일성, 두께, 선 너비 측정의 가장 낮은 변동성을 제공합니다. 고성능 광학 모델은 소음비 (noise ratio), 속도, 정확도, 이미지 무결성 향상 등을 통해 장비의 효율성을 극대화할 수 있도록 설계되었습니다. 광학은 10 nm 정도의 선이있는 높은 종횡비 웨이퍼 (High Aspect Ratio Wafer) 를 포함하여 다양한 웨이퍼 및 평면 레이아웃에 최적화되었습니다. Precision 소프트웨어 제품군은 엔지니어링, 도량형, 프로세스 개발을 위한 유연하고 정교한 wafer 테스트 도구를 제공합니다. 여기에는 CAD 기반 웨이퍼 사양, 이미지 품질 평가를위한 다양한 알고리즘, 도량형 및 프로세스 결과의 상관 관계가 포함됩니다. 또한 소프트웨어 제품군은 동일한 영역의 두 번째 이미지 맵 (두 번째 이미지 맵) 을 생성하여 추가 특성 (characterization) 및 프로세스 단계 (process steps) 와 연관시킬 수 있습니다. TENCOR P 10은 스테이지에 빠르고, 정확하며, 반복 가능한 웨이퍼 배치를 제공하는 완전 자동 조작 시스템에 의해 제어됩니다. 여기에는 신뢰할 수있는 동작 제어, 닫힌 루프 샘플 전송 장치 및 독립 샘플 조작 기능이 포함됩니다. 이 기계는 벤치 탑 (bench-top) 에서 본격적인 제조 (full-scale manufacturing) 에 이르기까지 다양한 어플리케이션과 환경을 수용할 수 있도록 설계되었습니다. 모두 P 10 웨이퍼 테스트 및 도량형 (metrology) 도구는 웨이퍼 테스트 및 도량형 환경에서 가능한 최고 수준의 정확도, 반복 가능성 및 정밀도를 제공하도록 설계되었습니다. 고급 광학 자산 (Optical Asset), 정교한 소프트웨어 제품군 (SW), 자동화 (Automation) 기능이 결합되어 다양한 웨이퍼 매개변수와 결함을 빠르고 정확하게 측정할 수 있는 모델을 만들 수 있습니다.