판매용 중고 KLA / TENCOR P10 #9159738
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KLA/TENCOR P10은 프로세스 제어 향상 및 생산 비용 절감을 위해 정밀 도량형 (precision metrology) 및 결함 탐지를 제공하도록 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 최첨단 옵틱 (optic), 이중 영역 측정 및 다양한 어플리케이션에 대한 뛰어난 패턴 인식 기능을 갖추고 있습니다. KLA P-10 온보드 광학에는 고해상도 메가 픽셀 카메라, 다중 레이저 빔 및 통합 스트로보스코프를 사용하는 DUV (deep ultraviolet) 이미징 장치가 포함됩니다. 이러한 독특한 광학 조합을 통해 검사자 수준의 측정 정확도와 이미지 대비를 사용할 수 있습니다. 초점 이미징 광학은 이미지 품질을 더욱 높이고 결함 감지 (defect detection) 와 측정 (measuration) 의 감도를 높입니다. 이미징을 위해 TENCOR P 10은 DAA (Dual-Area Analysis) 머신을 특징으로하며, 이를 통해 웨이퍼의 전면 및 후면 표면을 모두 측정 할 수 있습니다. 이 툴은 디바이스 수준의 변형을 모니터링하여 프로세스 최적화 영업 기회를 확대할 수 있습니다. 패턴 인식을 위해 TENCOR P-10은 웨이퍼 표면에서 외부 입자를 식별하는 데 도움이되는 독점 알고리즘을 사용합니다. 이렇게 하면 현장에서 분리된 결함과 결함 클러스터를 모두 감지할 수 있습니다. KLA P10의 정확성은 자산의 고급 소프트웨어에 의해 더욱 향상되었습니다. SEMA (Scanning Electron Microscopy Analysis) 통합 및 직관적 인 사용자 인터페이스를 제공하여 웨이퍼 테스트를 용이하게합니다. SEMA 통합을 통해 KLA/TENCOR P 10은 작은 입자를 더 정확하게 측정 할 수 있으며 결함 기능에 대한 심층 분석을 제공합니다. 직관적인 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphic User Interface) 는 작업을 단순화하고 획득한 이미지를 분석할 수 있도록 합니다. 결론적으로, TENCOR P10은 최고 수준의 정밀도, 정확도 및 감도를 제공 할 수있는 신뢰할 수있는 웨이퍼 테스트 및 도량형 모델입니다. 고급 옵틱 (Optic), 이중 영역 분석 (Dual-Area Analysis) 및 전문 소프트웨어 (Software) 의 조합으로 결함 감지 및 프로세스 최적화를 모두 지원하는 완벽한 솔루션입니다. KLA/TENCOR P-10은 수율, 품질, 하한선 성능을 개선하려는 반도체 제조업체에 이상적인 도구입니다.
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