판매용 중고 KLA / TENCOR P10 #9143723
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KLA/TENCOR P10은 현재 사용 가능한 가장 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템 중 하나입니다. 생산 및 연구 목적으로 설계된 고성능 플랫폼으로, 다양한 웨이퍼 테스트 (wafer testing) 및 도량형 (metrology) 기능을 제공합니다. KLA P-10은 속도, 정밀도, 자동화의 독특한 조화를 통해 다른 유사 시스템보다 빠른 처리량과 더 큰 정확도를 제공합니다. 1 nm의 반복 성과 0.25 nm의 해상도로 측정을 달성 할 수 있습니다. 이 장비를 구성할 수 있으므로 반도체, 소프트 기판 (soft substrate), 나노 기술 (nanotechnology) 등 다양한 애플리케이션에 맞게 조정할 수 있습니다. TENCOR P 10은 고정밀도를 제공하는 독특한 삼중 반사 간섭계 (TRI) 설계를 사용합니다. 그것 은 여러 가지 기능 을 포함 하여, "시스템 '이 여러 가지 기판 과 재료 에 대하여 폭 넓은" 나노스케일' 측정 을 신속 히 얻을 수 있게 한다. 이 단위는 웨이퍼 저항 (wafer resist), 박막 (thin film), 단계 (steps) 및 측정하기 어려운 기타 기능을 포함하여 다양한 샘플에서 5nm 정도의 작은 기능을 측정 할 수 있습니다. TENCOR P-10은 매우 다재다능한 도구이며, 다양한 방법으로 사용하도록 설계되었습니다. 프로세스 모니터링, 특성, 결함 분석 등에 사용할 수 있습니다. 또한 심층적인 연구, 상세한 프로세스 개발 및 특성 작업을 수행하는 데 사용될 수 있습니다. 즉, 병렬 머시닝 (Parallel Machining) 과 하이엔드 자동화 (High-End Automation) 기능을 활용하여 처리 속도가 더욱 빨라지며 필요한 경우 24 시간 내내 실행되도록 설계되었습니다. 인상적인 정확성과 속도 외에도 P 10도 안정성이 뛰어나고 내구성이 뛰어납니다. 엄격한 테스트를 거쳐 ISO/IEC 표준을 준수하도록 인증되었으며, 유지 보수가 불가능하도록 설계되었습니다. P10은 생산과 연구 작업에 탁월한 수준의 정밀도, 자동화, 속도를 제공하는 고급 다용도 기계입니다. 안정성과 성능의 조합으로 인해 시장에서 최고의 웨이퍼 테스트 (wafer testing) 및 도량형 시스템 (metrology system) 중 하나입니다.
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