판매용 중고 KLA / TENCOR P10 #9035604

KLA/TENCOR P10은 고급 프런트엔드 반도체 장치 테스트를 위해 설계된 고성능 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 매우 신뢰할 수있는 광학 도량형 시스템 (Optical Metrology System) 이 특징이며, 최대 200mm 크기의 광범위한 반도체 웨이퍼에서 매우 정확한 웨이퍼 및 픽셀 레벨 측정이 가능합니다. 이 장치에는 워퍼 레벨 (Wafer Level) 기능과 저항 패턴 (Resistance Pattern) 을 측정 할 수있는 고급 비전 머신 (Advanced Vision Machine) 이 있습니다. KLA P-10은 정확한 도량형 측정을 제공하기 위해 함께 작동하는 여러 가지 구성 요소로 구성됩니다. 광학 도량형 기능은 전체 필드 측정을 가능하게하는 COWT (Continuous Optimized Wafer Trajectory) 도구를 갖춘 풀 필드 광 엔진으로 구동됩니다. 이 COWT 자산은 수차를 제거하도록 설계되어 다양한 모양과 복잡성 수준 (level of complexity) 으로 웨이퍼를 정확하게 측정합니다. 또한 TENCOR P 10은 중요한 웨이퍼 수준을 정밀도로 측정 할 수있는 WEL (Wafer Extremity Level) 모델을 갖춘 이미징 모듈과 결합됩니다. KLA/TENCOR P 10은 또한 전체 웨이퍼 표면에 일관된 측정을 제공하기 위해 설계된 천연 및 인공 소스로 구성된 업계 최고의 조명 장비를 갖추고 있습니다. 이 시스템에는 LALP (Low Angle Long Pitch) 단위가 추가되어 현대 웨이퍼의 곡률로 인한 이미지 왜곡을 최소화하여 임의의 각도에서 정확한 측정이 가능합니다. P-10은 결함 크기, 형상 특성, 필름 두께, 저항력 등 다양한 매개변수를 측정하도록 설계되었습니다. OSV (Optic Security Version) 기술을 활용하여 테스트 결과를 기밀 분석할 수 있는 안전한 데이터 환경을 제공합니다. OSV 기술은 사용자 데이터를 외부 간섭으로부터 보호하는 암호화, 인증, 보안 네트워킹 기능을 통합합니다. 기계 성능 측면에서 KLA/TENCOR P-10은 시간당 최대 40 웨이퍼의 읽기 시간과 +/- 1nm의 정확성을 갖춘 고속 풀 필드 도량형을 제공하여 효율적이고 신뢰할 수있는 테스트 및 도량형 도구입니다. 웨이퍼. 이 자산에는 매우 능률적인 사용자 인터페이스 (user interface) 가 있어 장비 (equipment) 의 작동이 쉽고, 추가 분석을 위해 쉽게 내보낼 수 있는 테스트 결과를 저장하고 볼 수 있습니다.