판매용 중고 KLA / TENCOR P10 #293751600

KLA/TENCOR P10은 비용 효율적인 방식으로 반도체 웨이퍼의 품질, 성능, 안정성을 향상시키기 위해 설계된 다기능 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 다양한 고급 공구 (advanced tool) 특성 기능을 제공하며 300mm 웨이퍼를 검사하고 측정하는 데 사용됩니다. 이 장치는 4 가지 도구 구성 중 선택 사항을 제공하며 고급 고속 광학 검사 알고리즘, 자동 조정 가능한 파장 분광법, 2D 및 3D 결함 이미징, 지능 패턴 인식 및 프로세스 제어를 갖추고 있습니다. 이 기계는 또한 정밀 표면 특성화를위한 자동화된 고정밀 3D 표면 측정 기능을 제공합니다. KLA P-10은 최대 온도 조절 및 균일성을 위해 밀봉 된 웨이퍼 챔버를 갖추고 있습니다. 수소화 된 Class 00 및 100 laminar 흐름 구성은 높은 처리량 웨이퍼 테스트 및 도량형 성능을 보장합니다. 광발광, 2 차 전자 영상, 광학 방출 분광학 (OES), X- 선 광전자 분광학 (XPS) 및 주사 전자 현미경 (SEM) 을 포함한 광범위한 물리적 및 화학적 테스트 기능이 지원됩니다. 이 도구에는 지능형 양면 측정 기능이 있어 양쪽에서 동시 샘플 테스트가 가능합니다. 또한 자동 샘플 준비 및 처리를 지원하므로, 효율적이고 오류 없는 샘플 조건화가 가능합니다. 자산에는 자동 테스트 프로그램 실행을위한 라이브러리 인터페이스 (library interface) 와 추가 분석을 위해 결과 획득이 포함되었습니다. 이 모델은 또한 장비 성능에 영향을 미치지 않고 동시 도량형 및 테스트를 가능하게 하는 독특한 알리비 모드 (Alibi Mode) 를 제공합니다. TENCOR P 10 의 강력한 기능과 액세서리 (옵션) 는 다양한 자동 테스트 프로세스에 적합합니다. 또한 기존 툴과 운영 라인을 손쉽게 통합하여 보다 효율적이고 통합된 제조 프로세스 (Manufacturing Process) 를 제공합니다.