판매용 중고 KLA / TENCOR P10 #293751408
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KLA/TENCOR P10은 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. KLA P-10 은 고급 웨이퍼 검사 (wafer inspection) 및 도량형 (metrology) 기술을 탑재하여 반도체 제조업체가 비용을 절감하고 제품의 품질을 향상시키려는 최적의 선택입니다. TENCOR P 10은 웨이퍼 지형, 임계 치수 (CD) 측정, 다중 패턴 오버레이, 이미징 및 결함 감지를 포함한 다양한 웨이퍼 검사 및 도량형 기능을 제공합니다. 최대 300mm 크기의 웨이퍼를 검사하고 측정할 수 있으며, 처리량은 시간당 최대 200 웨이퍼 (wph) 입니다. TENCOR P-10에는 고급 ASPC (Special-Purpose Hardware Controller) 및 AWHS (Automated Wafer-Handling System) 와 같은 고급 자동화 시스템이 장착되어 있습니다. 통합 웨이퍼 매핑 및 MVM (multiple-view metrology) 장치를 사용하면 높은 정확도 CD 측정뿐만 아니라 전체 웨이퍼 토폴로지 특성화가 가능합니다. P10은 종합적인 이미지 처리 시스템을 제공합니다. 즉, 기능 폭이 5nm 이상인 해상도에서 고속 이미지 획득과 정확한 결함 특성을 제공합니다. DSP (Advanced Digital Signal Processor) 는 전기 측정을 캡처하여 각 웨이퍼에 대해 정확하고 정확한 테스트 제어를 보장합니다. 또한 TENCOR P10 (TENCOR P10) 에는 중요한 매개변수에 따라 자동 결함 분류를 수행할 수 있는 통합 결함 검토 도구가 있습니다. 이 자산을 통해 지능적인 결함 처리 (Disposition Decision-Making) 를 수행할 수 있으며, 이는 제품과 배치 간에 추적이 가능합니다. 전반적으로, KLA P10은 다양하고 정확한 웨이퍼 테스트 및 도량형 모델이며, 정확한 웨이퍼 토폴로지 특성화 및 신뢰할 수있는 결함 검토를 제공합니다. '고급 기술' 과 '자동화' 기능을 통해 반도체 제조업체들은 '생산 품질 향상' 과 '비용 절감' 을 모색할 수 있습니다.
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