판매용 중고 KLA / TENCOR P10 #293662984

KLA/TENCOR P10은 반도체 웨이퍼 및 기타 기판을 빠르고 정확하게 측정하고 검사하도록 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 고급 옵틱, 하드웨어, 소프트웨어와 통합되어 광범위한 웨이퍼, 기판에서 자동화된 비접촉 (non-contact) 도량형, 검사, 결함 현지화를 지원합니다. 이 시스템은 매우 정확한 측정을 달성할 수 있으며, 필름 두께 측정, 서피스 지형, 입자 크기, 구성 등 다양한 테스트 응용 프로그램에 대해 구성할 수 있습니다. KLA P-10은 고급 광학을 사용하여 웨이퍼 또는 기판의 이미지를 캡처합니다. 이 제품은 3 개의 레이저와 3 개의 적외선 카메라가있는 양안 영상 장치를 사용하여 웨이퍼 또는 기판의 정확한 3 차원 이미지를 얻습니다. 그런 다음 기계는 이미지에서 높이, 너비, 깊이, 서피스 프로파일, 필름 두께 등 다양한 측정을 빠르게 평가하고 추출할 수 있습니다. 추가 기능으로는 결함 감지, 선 너비 측정, 오버레이 측정 및 FSI (Flat Space Inspection) 가 있습니다. TENCOR P 10은 임베디드 터치 스크린 인터페이스 (Touch-Screen Interface) 를 통해 간편한 인터페이스를 통해 도구를 프로그래밍 및 제어할 수 있습니다. 또한 TouchScreen을 사용하면 테스트 보고서 및 결과에 신속하게 액세스할 수 있습니다. 이 에셋은 또한 자동 웨이퍼 처리 (automated wafer handling) (옵션) 모델을 통해 사용자가 광학을 수동으로 다시 정렬하지 않고도 다른 기판 사이를 빠르게 전환 할 수 있습니다. TENCOR P10 은 구성 능력이 뛰어나며 다양한 성능, 속도, 해상도 설정을 지원하여 다양한 테스트/도량형 (metrology) 요구 사항을 충족합니다. 이 장비는 또한 하위 미크론 기능, 오염 물질 (contaminant), 기타 미묘한 결함 등, 캡처하기 어려운 기능에 대한 자세한 피드백을 제공하는 고급 패턴 인식 기능을 제공합니다. 결론적으로, P 10은 반도체 웨이퍼 및 기타 기판을 빠르고 정확하게 측정하고 검사하도록 설계된 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템입니다. 고급 옵틱과 자동화된 비접촉 도량형 (non-contact metrology), 검사 및 결함 현지화를 위한 소프트웨어가 장착되어 있습니다. 이 장치는 구성 능력이 뛰어나며, 다양한 성능, 속도, 해상도 설정을 지원하여 다양한 테스트, 도량형 (metrology) 요구 사항을 충족합니다.