판매용 중고 KLA / TENCOR P1 #9283641

ID: 9283641
Surface profiler.
KLA/TENCOR P1은 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비로, 현대 마이크로 일렉트로닉스 공장의 요구를 충족시키기 위해 특별히 설계되었습니다. 이 시스템은 다양한 반도체 웨이퍼 기술에 대한 안정적이고 정밀 도량형 결과를 제공합니다. 고급 조명 (Advanced Illumination) 및 검출기 (Detector) 기술을 통해 웨이퍼 수준에서 빠르고 정확하며 반복 가능한 결과를 얻을 수 있습니다. 이 장치는 광학 현미경을 결합하여 이미지와 웨이퍼 (wafer) 를 측정하고 사분면 (quadrant detector) 을 측정하여 높은 정확도와 디테일을 가진 웨이퍼 레벨 데이터를 제공합니다. 간섭, 회절, 광학 프로파일링, 이미지 처리 및 다중 모드 스캔과 같은 다양한 검사 기술을 사용하여 KLA/TECNOR KLA P-1은 진정으로 포괄적 인 측정 및 분석을 수행합니다. 이 기계는 510 nm 파장의 레이저 빔과 가변 각도 창 (variable angle window) 을 갖춘 조정 가능한 조명을 특징으로하며, 정확한 조명을 제공하고 그림자를 제거합니다. Advanced 3D PreSight Technology는 패턴 조명 프로세스의 불균일성을 보완하여 결과의 정확성과 반복성을 보장합니다. TENCOR P 1은 또한 웨이퍼 두께, 서피스 거칠기, 스텝 높이 및 평탄도를 측정 할 수있는 일종 광학 도량형 도구를 갖추고 있습니다. 에셋이 5 가지 이상의 웨이퍼 지형 및 두께 값을 측정하도록 미리 구성된 상태에서 TENCOR/TECNOR TENCOR P1은 웨이퍼 수준 측정의 설정 시간을 최소화합니다. 또한 KLA P1에는 듀얼 뷰 (Dual-View) 기술이 적용되어 x 방향과 y 방향으로 동시에 웨이퍼 이미지를 수집하고 측정할 수 있습니다. 이것은 모델의 특수 분할 조리개 메커니즘 (split-aperture mechanism) 에 의해 활성화되며, 이는 높은 수준의 필드 해상도를 제공합니다. KLA/TENCOR P 1은 웨이퍼 레벨 테스트 및 도량형을 위한 포괄적인 통합 솔루션을 제공합니다. 독보적인 이미징 및 도량형 (metrology) 기술을 통해 정확하고 반복 가능한 결과를 얻을 수 있으며, 조정 가능한 조명 및 듀얼 뷰 기능을 통해 강력하고 효과적인 이 테스트 장비에 대한 추가 이점을 제공합니다.
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