판매용 중고 KLA / TENCOR P1 #293643497

KLA/TENCOR P1은 차세대 자동 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 직관적인 GUI (Graphical User Interface) 및 자동화된 프로세스와 엔지니어링 정밀도 및 측정 정확도를 결합하여 오늘날 대용량 생산의 요구를 충족합니다. KLA P-1 시스템은 최대 12 인치 크기의 전체 웨이퍼 처리가 가능하며 단일 웨이퍼 및 배치 모드 작업을 모두 지원합니다. TENCOR P 1 장치는 단일 프로세스 셀을 구성하기 위해 각각 자체 통합 하드웨어 구성 요소가있는 최대 3 세트의 도량형 헤드 모듈을 사용합니다. 각 모듈에는 최고 수준의 정확성과 반복성을 보장하는 고급 옵틱 (optic) 및 정밀 동작 제어 시스템 (motion control system) 이 있습니다. 이 기계는 또한 레이저 기반 자동 초점 (autofocus) 을 갖추고 있으며, 간단하고, 정확한 설정 및 웨이퍼 평면과의 측정 평면을 빠르게 정렬합니다. 웨이퍼 테스트 및 도량형 프로세스는 특정 레시피에 웨이퍼를 로드함으로써 시작됩니다. 노출 레벨, 대상 포커스, 측정 평면, 측정 점 등의 매개변수는 연산자가 선택합니다. 광학은 두께, 기하학적 모양, 결함, 오버레이, 초점 및 지형에 대한 웨이퍼를 측정하고 검사합니다. 이 프로세스의 결과는 1 "미크론 '미만의 정확도로 사용자에게 다시 전달됩니다. 정확한 측정을 위해 KLA/TENCOR P 1 도구는 KLA 독점 True Angle 기술을 사용합니다. 이 기술은 측정 평면이 항상 웨이퍼 평면 (wafer plane) 에 수직하도록 함으로써 측정 오류를 줄이고 결과의 일관성을 향상시킵니다. 에셋은 또한 직관적 인 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 를 통해 운영자를 안내하고 일상적인 기능을 단순화합니다. 또한 P 1 은 포괄적인 제어 및 데이터 수집 기능을 제공합니다. MI (Integrated Machine Intelligence) 플랫폼은 통합 모니터 및 제어 기능으로 웨이퍼 테스트 작업을 모니터링합니다. 또한 MI 플랫폼 (MI 플랫폼) 은 운영자가 프로세스 단계에서 문제를 실시간으로 해결할 수 있도록 지원합니다. 전반적으로 TENCOR P1은 강력하고 직관적이며 효율적인 웨이퍼 테스트 및 도량형 모델입니다. 이 장비는 정확하고 일관성 있는 측정을 제공하며, 이는 사용자에게 신속하게 전달됩니다. 시스템, 기술, 기능의 결합으로 비용 민감도 (cost-sensitive) 와 대용량 (high-volume) 생산 설비 모두에 이상적인 선택이 됩니다.