판매용 중고 KLA / TENCOR P1 #293590370

KLA/TENCOR P1은 반도체 및 MEMS 장치에 대한 고성능, 단일 웨이퍼 결함 검사 및 도량형을 제공하도록 설계된 통합 도량형 및 웨이퍼 테스트 장비입니다. 이 시스템은 최첨단 광학 영상 장치 (Optical Imaging Unit) 와 첨단 적응형 도량형 도구 (Suite of Advanced, Adaptive Metrology Tools) 를 결합하여 광범위한 웨이퍼 구조와 기능에 대한 정확하고 상세한 데이터를 생성합니다. 이 기계는 한 번의 테스트 영역에서 수백 개의 웨이퍼 (wafer) 구조와 기능을 신속하고 효과적으로 검사할 수 있으며, 칩 제조업체가 추가 분석을 위해 결함을 식별하고 분리 할 수 있습니다. KLA P-1의 고급 광학 이미징 (Optical Imaging) 툴은 단일 웨이퍼에서 작은 기능과 구조의 뛰어난 해상도를 제공합니다. 자산의 진동 감쇠는 수많은 이미지에서 높은 수준의 정확도, 반복 성을 가능하게했습니다. 이 모델은 또한 적응력이 뛰어나 사용자가 다양한 웨이퍼 특성을 수용할 수 있는 다양한 광원 (Light Source), 확대 (Magnifications), 스펙트럼 감도 (Spectral Sensitivity) 를 선택할 수 있습니다. TENCOR P 1 (TENCOR P 1) 은 검사 과정에서 얻은 결함 및 결함 클러스터의 전기 특성을 신속하게 검토하고 분석합니다. 이 장비는 2 개의 자동 위치 단계 (정적 도량형 단계와 결합) 를 결합합니다. 이를 통해 여러 테스트 사이트의 위치와 크기를 빠르고 정확하게 매핑하여 검토, 분석할 수 있는 결함 위치를 확인할 수 있습니다 (영문). 또한, 이 장치는 여러 웨이퍼를 비교하여, 사용자가 서로 다른 웨이퍼 특성에 걸쳐 트렌드를 빠르고 정확하게 식별 할 수 있도록 합니다. 또한 TENCOR P-1은 고급 감지 기능을 제공합니다. 여러 분석 도구 (analytic tools) 는 컴포넌트의 전기 특성과 관련된 다양한 결함 및 결함을 감지하고 특성화할 수 있습니다. 이러한 도구 중에는 고급 레이저 펄스 화학 물질 (advanced laser pulse chemistry) 과 변칙적 인 특징 및 재료 편차를 정확히 지적하기위한 높은 정확도의 화학 제제가 있습니다. 또한, 이 기계는 고유한 정교한 결함 분류기 세트를 특징으로하며, 공구 (Tools) 알고리즘에 포함되어 있으며, 거의 제한없는 웨이퍼 (Wafer) 결함 및 결함 범위를 신속하고 신뢰할 수 있습니다. 요약하자면, P-1 은 다양한 웨이퍼 구조와 기능에 대한 상세한 데이터를 제공하도록 설계된 통합 도량형/웨이퍼 테스트 자산입니다. 이 모델의 뛰어난 광학 이미징 장비 (Optical Imaging Equipment) 와 높은 정확도 도량형 (High Accuracy Metrology Tools) 을 통해 결함 및 결함 클러스터를 안정적으로 식별하고 분석할 수 있습니다. 또한, 고급 감지 (advanced detection) 기능은 시스템의 정교한 결함 분류기 세트와 결합하여 거의 무제한의 웨이퍼 결함 감지 및 분석 범위를 제공합니다.