판매용 중고 KLA / TENCOR P-7 #293665117

KLA/TENCOR P-7은 반도체 부품 제작에 사용하기 위해 개발 된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 프로세스 제어 (process control) 및 산출량을 최적화하기 위해 웨이퍼에 대한 매우 정확한 분석을 제공합니다. KLA P-7은 고해상도 이미징과 웨이퍼 측정 및 결함 검사를 위한 강력한 도량형 기능을 결합합니다. 이 시스템은 유연하게 구성할 수 있는 모듈식 (modular) 설계를 통해, 사용자가 사양과 요구에 가장 적합한 장치를 구성할 수 있습니다. 모터와 컨트롤러는 동작 제어 (Motion Control) 에서 더 높은 정확도를 제공하여 측정의 반복 가능성을 향상시킵니다. 또한 자동화된 웨이퍼 수준 테스트를 통해 초기 프로세스 문제를 감지할 수 있습니다. TENCOR P 7은 또한 sCMOS 및 TDI와 같은 다양한 CCD 검출기를 포함하여 개선 된 이미징 기능을 제공하며, 어두운 필드, 밝은 필드, 차등 간섭 대비 (DIC) 및 Nomarski를 포함한 다양한 조명 옵션을 제공합니다. 이 옵션을 결합하여 미묘한 광학 현상을 탐지하는 데 더 높은 정확도를 제공 할 수 있습니다. 웨이퍼의 패턴을 정확하게 측정하기 위해 P-7은 또한 고성능 고해상도 도량형 (High Resolution Metrology) 기능을 갖추고 있으며, 이는 중요한 기능을 5nm까지 측정할 수 있습니다. 이를 통해 패턴 피치, Critical Dimensions 및 기타 기능을 정확하게 측정하여 장치 성능 및 안정성을 보장할 수 있습니다. 또한 P 7은 특수 센서, 범위, 분광학 및 특수 도량형 모듈의 조합을 제공하여 웨이퍼 측정 및 결함 검사를위한 가장 포괄적 인 도구 세트를 제공합니다. 이러한 기술 조합은 사용자에게 정확한 웨이퍼 (wafer) 테스트 및 분석을 위한 완벽한 솔루션을 제공합니다. 전반적으로 KLA P 7은 반도체 장치의 프로세스 제어, 항복, 성능을 최적화하도록 설계된 강력하고 다양한 웨이퍼 테스트 및 도량형 머신을 제공합니다. 이미징, 도량형 (metrology), 특수 센서 및 범위의 조합은 사용자가 웨이퍼를 정확하게 측정하고 검사할 수 있는 간편한 구성 도구를 제공합니다.