판매용 중고 KLA / TENCOR P-6 #9230786
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ID: 9230786
빈티지: 2012
Stylus profiler
Standard range: Microhead 5 SR
Sample stage area, 6" diameter
Vertical range: 327 µm
Force range: 0.5 mg to 50 mg
Scan length: 150 mm
Z Range: 1 mm
Does not include PC
2012 vintage.
KLA/TENCOR P-6 (KLA/TENCOR P-6) 은 다양한 웨이퍼 및 기판의 품질 제어 및 성능을 평가하기 위해 설계된 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. "와퍼 (wafer) '가 가장 높은 표준으로 생산되도록 다양한 기능과 기능을 제공합니다. 클라이 P-6 (KLA P-6) 시스템은 직경 150mm (6 ") 의 고출력 광학 검사, 측정 및 웨이퍼 분석을 수행할 수 있으며, 제조 공정의 변화하는 요구에 적합한 웨이퍼 처리 장치를 갖추고 있습니다. 통일성, 정확성, 반복성을 고려하여 제작되었으며, 수동 (manual) 및 자동 (automated) 작업을 모두 수행할 수 있습니다. TENCOR P6 기계의 통합 광학 테스트 기술은 고해상도 이미징 (high-resolution imaging) 및 특수 광학 렌즈를 사용하여 결함 및 결함 관련 비 통일성에 대한 표면을 검사하고 분석합니다. 또한 다중 채널 도량형 (multi-channel metrology) 도구를 사용하여 웨이퍼 서피스에 대한 다양한 측정 및 다른 웨이퍼 유형의 정량 비교를 사용할 수 있습니다. KLA/TENCOR P6 자산에는 고급 입자 분석 기능과 함께 표면 불완전 및 표면 결함을 감지하기위한 AVI (Automated Visual Inspection) 모델이 포함되어 있습니다. 또한, 결함 지표 (Metrics) 에 대한 포괄적인 데이터베이스가 포함되어 있는데, 이 데이터베이스를 사용하여 웨이퍼의 결함을 신속하게 파악하고 찾을 수 있습니다. P-6 (P-6) 장비의 고급 제어 소프트웨어 (Advanced Control Software) 는 사용 편의성과 안정성을 위해 설계되었으며, 유연한 레시피 기반 시스템을 통해 Wafer Manufacturing 프로세스 변경에 대한 작업을 사용자 정의할 수 있습니다. 또한 비호환 (non-conformance) 이 감지되면 사용자에게 경고하고 웨이퍼 (wafer) 특성을 쉽게 분석 할 수 있는 강력한 경보 장치도 포함되어 있습니다. P6 머신은 자동 처리 및 전송, 통합 청소실, 웨이퍼 레벨 작업 자동화, 통합 정밀 보정 기능 등 다양한 기능을 갖추고 있습니다. 또한 여러 옵션과 액세서리 (액세서리) 를 포함하여 모든 워크플로에 맞게 맞춤형 솔루션을 사용할 수 있습니다. 전반적으로, KLA P6 웨이퍼 테스트 및 도량형 도구는 고급, 정교한 자산으로, 웨이퍼 및 기판을 측정, 테스트, 검사하는 다양한 기능과 기능을 제공합니다. 이 제품은 정확하고, 반복적이며, 신뢰할 수 있는 wafer 테스트 결과가 필요한 제조업체 및 조직에 이상적인 솔루션입니다.
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