판매용 중고 KLA / TENCOR M-Gage 300 #293830692

KLA/TENCOR/PROMETRIX M-Gage 300은 고급 기술의 이점을 제공하는 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 최고의 두 가지 이미징 기술과 높은 처리량 도량형 (optical and scattering-based scan) 의 장점을 결합합니다. 광학 이미징 (Optical Imaging) 기술을 통해 최대 3000 배의 확대/축소 수준에서 웨이퍼의 고해상도 이미징을 수행할 수 있습니다. 이 장치는 또한 광학 분산기 (Optical Scatter) 기술과 높은 처리량 도량형 (Throughput Metrology) 을 결합하여 기존 광학 검사로 감지하기에는 너무 작은 기능을 포함하여 전체 웨이퍼 이미지를 제공하여 고장 소스를 상세하게 분석하고, 복구 시간이 빨라집니다. KLA M-Gage 300에 사용 된 산란 기법은 0.5 미크론의 결함 적용 속도를 허용합니다. 이 웨이퍼 테스트 및 도량형 (metrology) 방법은 시간당 10k 웨이퍼의 높은 처리량을 제공하여 다른 시스템에 비해 주기 시간을 크게 줄입니다. TENCOR M-Gage 300의 기술 어레이는 또한 여러 유형의 검사 및 특성을 허용합니다. 이 기계는 고해상도 이미징 (high-resolution imaging) 과 산란 (spatter) 기법의 조합을 통해 에피 레이어의 결함을 감지하고 필름 두께를 측정하고 전기 테스트 및 특성을 수행 할 수 있습니다. 다른 응용 분야로는 결함 및 누출 위치, 게이트 산화물 평가, 게이트 존재 및 전기 접촉 평가, 로컬 및 글로벌 웨이퍼 표면 분석 등이 있습니다. M-Gage 300의 고급 기술은 광학 (optics) 에 의해 더욱 입증되며, 일련의 비구 및 원격 중심 렌즈와 20X 매크로 포커스 렌즈를 결합하여 뛰어난 이미지 캡처 기능을 제공합니다. 조명 도구는 스캐닝 은하계 거울을 갖춘 Gen6 Canon 광원을 통해 균일 한 조명과 낮은 가열을 제공합니다. 에셋은 또한 3000X의 확대/축소 확대율에서 0.2 미크론의 반복 성을 제공하는 AccuScale과 하위 픽셀 정확도의 데이터를 제공합니다. PROMETRIX M-Gage 300 기능은 고해상도 이미징, 고해상도 (high throughput metrology) 및 다양한 테스트 옵션을 제공하여 효율적인 웨이퍼 테스트 및 도량형을 위한 강력한 도구입니다.