판매용 중고 KLA / TENCOR M-Gage 300 #293758722

KLA/TENCOR/PROMETRIX M-Gage 300은 사용자가 반도체 및 마이크로 전자 제품의 제조 과정을 모니터링, 분석 및 제어하도록 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 주로 얇은 필름의 물리적 특성과 웨이퍼 서피스 (예: 선폭, 기하학적 모양) 의 미세한 피쳐를 측정하는 데 사용됩니다. KLA M-Gage 300 시스템은 레이저 회절, 다크 필드 현미경, 단면 분석 및 2 차원 이미징을 포함한 다양한 고급 기술을 통합합니다. 다양한 광학 프로브 (optical probe) 를 사용하여 웨이퍼 표면의 박막 퇴적물 및 기타 물리적 매개변수를 측정합니다. 이 장치에는 기능 모서리의 이미지를 캡처하는 고해상도 (High-resolution) 비디오 카메라와 데이터 자동 분석 (Automated Analysis) 및 비교용 소프트웨어가 장착되어 있습니다. TENCOR M-Gage 300 머신은 측정 데이터, 프로젝트 관리 및 협업에 대한 원격 액세스를 위한 웹 기반 인터페이스도 제공합니다. 또한, 이 도구에는 자동화된 피쳐 추출 (automated feature extraction), 매개변수 데이터베이스, 통계 제어 등 다양한 고급 후처리 옵션이 포함되어 있습니다. 또한 다양한 자동 데이터 분석 기능 (automated data analysis function) 을 제공하여 다양한 제조 실행에서 얻은 웨이퍼를 신속하게 비교할 수 있습니다. PROMETRIX M-Gage 300 자산은 사용자가 웨이퍼의 제조 프로세스를 정확하게 측정, 모니터링, 제어하고, 일관된 제품 품질을 보장하며, 결함 위험을 줄일 수 있도록 설계되었습니다. 고급 광 미디어 (Optical), 이미지 (Image) 및 데이터 분석 툴을 사용하여 문제를 신속하게 파악한 다음 발생할 수 있는 모든 문제를 해결할 수 있습니다. 포괄적인 소프트웨어를 통해 운영자는 필름 두께, 서피스 황삭 (surface roughness), 모서리 프로파일 (edge profile) 과 같은 매개변수를 모니터링하면서 프로세스 개선을 평가할 수 있습니다. M-Gage 300 또한 자동 정렬, 샘플 스테이지 동기화, 광역 분석 등 다양한 기능을 제공합니다. 독자적인 소프트웨어를 통해 사용자는 웨이퍼 (wafer) 표면의 물리적 매개변수를 빠르고 정확하게 결정하고 최적의 제품 성능을 보장할 수 있습니다. KLA의 KLA/TENCOR/PROMETRIX M-Gage 300 모델은 오늘날의 고급형 반도체 및 마이크로 전자 제조 프로세스에 사용되는 웨이퍼의 측정 및 관리를 위한 포괄적 인 솔루션입니다. 다양한 고급 기술 (Advanced Technologies) 을 활용하면 파퍼의 품질을 측정, 모니터링, 제어할 수 있는 포괄적이고 강력한 툴셋을 제공합니다.