판매용 중고 KLA / TENCOR M-Gage 300 #293750339
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KLA/TENCOR/PROMETRIX M-Gage 300은 고효율 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 반도체 제조 및 연구에 사용하기 위해 개발 된 KLA M-Gage 300은 다른 도구 및 시스템과 원활하게 작동하면서 빠르고 정확한 웨이퍼 측정을 제공합니다. 이 시스템은 직관적인 GUI (Graphical User Interface) 를 중심으로 설계되었으며, 이를 통해 사용자는 최소한의 입력으로 테스트 및 도량형을 위한 사용자 정의 프로그램을 로그인하고 만들 수 있습니다. TENCOR M-Gage 300은 테스트 된 웨이퍼 속성과 관련된 패턴을 신속하게 인식 할 수있는 지능 (intelligence) 을 내장하고 있습니다. 따라서 반복 가능한 결과를 얻을 때 장치가 매우 안정적입니다. PROMETRIX M-Gage 300은 웨이퍼 검사 및 분석을 위해 고급 광도 이미징을 사용합니다. 이 기계는 고급 광원 (advanced light), 이미지 감지 (image sensing) 및 소프트웨어 기반 (software-based) 방법의 조합을 사용하여 웨이퍼의 변동 및 기타 표면 결함을 극도로 정확하게 감지 할 수 있습니다. 또한 설계는 임계 치수 (critical dimension), 에치 깊이 (etch depth), 평평 (flatness) 과 같은 특정 테스트의 성능을 그 어느 때보 다 빠르고 정확하게 허용합니다. 이 도구의 SOM (Spectral Optical Measurement) 기능은 웨이퍼의 매우 정확한 이미지를 캡처하여 더 큰 스펙트럼 측정 배열을 허용합니다. 개발자는 스펙트럼 데이터를 사용하여 웨이퍼의 깊이 (depth), 색상 (color) 및 재료 (material) 맵을 생성하여 표면 특성을 정확하게 측정할 수 있습니다. 이 기술을 통해 사용자는 감지되지 않는 문제 (problem) 를 찾을 수 있으며, 문제가 주요 문제가 되기 전에 문제를 해결할 수 있습니다. 에셋에는 도량형 (metrology) 기능도 포함되어 있어 사용자가 웨이퍼의 두께와 구성을 확인할 수 있습니다. 이 도구 집합은 사용자가 개별 금속, 금속 절연체, 트랜지스터 레이어, 산화물 침전물의 오버레이 (overlay) 와 같은 중요한 요소를 정확하게 측정할 수 있는 기능을 제공합니다. M-Gage 300 은 이러한 영역을 매우 정확하게 검사하여 사용자가 가장 높은 수준의 균일성을 보장할 수 있도록 합니다. KLA/TENCOR/PROMETRIX M-Gage 300은 웨이퍼 테스트 및 도량형을위한 강력하고 안정적인 도구입니다. 사용자에게 웨이퍼의 주요 특성을 정확하게 측정할 수 있는 기능을 제공합니다. 견고한 설계를 통해 사용자는 패턴과 표면 결함을 빠르게 인식 할 수 있습니다. SOM (Spectral Optical Measurement) 및 도량형 (Metrology) 기능을 사용하면 표면 특성 및 기타 중요한 요소를 매우 정확하게 측정할 수 있습니다. KLA M-Gage 300 (KLA M-Gage 300) 을 사용하면 웨이퍼가 최소한의 시간과 노력으로 생산 준비가 되어 있는지 확인할 수 있습니다.
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