판매용 중고 KLA / TENCOR M-Gage 300 #293749862

KLA/TENCOR/PROMETRIX M-Gage 300은 강력한 3D 옵티컬 프로파일러 및 특허받은 CIS (Contact Image Sensor) 기술을 사용하여 생산 과정에서 반도체 웨이퍼의 지형 기능을 정확하게 측정하고 분석하는 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 고도로 자동화되어 있으며, 수백 개의 사이트를 동시에 측정할 수 있으며, 고도로 도핑된 장치 구조의 정확한 측정이 가능합니다. 또한 임계 치수에서 측정을 수행할 수 있으므로 웨이퍼 제조 (wafer manufacturing) 에서 프로세스 제어가 향상됩니다. KLA M-Gage 300 기계의 기본 단위는 3D 옵티컬 프로파일러, 고해상도 접촉 이미지 센서 및 통합 레이저 기반 산란계를 결합한 Triple Sensor Head입니다. 이 3 가지 구성 요소는 양적 측정 및 결함 분석에서 전례없는 정확성을 제공하기 위해 함께 작동합니다. 이 도구에는 자동 결함 검사 (Automated Defect Inspection), 서피스 품질 평가 (Surface Quality Evaluation), 라인 에지 프로파일 (Line Edge Profile) 등 반도체 웨이퍼 생산 및 특성화용으로 특별히 설계된 다양한 도구가 장착되어 있습니다. TENCOR M-Gage 300 자산은 UltraGage와 같이 고급 3D 측정을 위해 특허를 획득한 여러 가지 고유한 기술을 제공합니다. 이 모델은 초고속 3D 측정을 수행할 수 있으며, 기존 기법에 비해 10 배 빠른 측정값을 제공합니다. 또한 독점적 인 Enhanced Wafer Imaging Equipment 또는 EWIS를 제공합니다. 이 기술은 고출력 레이저 (HA) 를 사용하여 실제로 웨이퍼에 물리적으로 접촉하지 않고 웨이퍼 표면을 검사하여 표면을 보다 정확하고 빠르게 측정합니다. 이 기능은 물론, 다양한 생산성 향상 기능을 자랑하며, 다른 웨이퍼 제조 시스템 (Wafer Manufacturing System) 에 쉽게 통합할 수 있습니다. 이 장치의 사용자 친화적 GUI는 또한 생산 주기를 간소화하는 데 도움이됩니다. 강력한 설계로 PROMETRIX M-Gage 300은 가장 까다로운 운영 환경에서도 정확한 측정 및 결함 분석을 위한 안정적인 선택이 됩니다.