판매용 중고 KLA / TENCOR M-Gage 300 #293747954
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KLA/TENCOR/PROMETRIX M-Gage 300은 박막 및 장치의 고급 분석에서 전례없는 정확성과 정확성을 제공하도록 설계된 혁신적인 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 고성능 시스템에는 두 가지 주요 구성 요소 (특수 도량형 도량형 도구와 독점 프로세서) 가 있습니다. 도량형 도구 (metrology tool) 는 고급 신호 처리로 시트 저항, 필름 두께, 반사율과 같은 매개변수를 측정하고 웨이퍼 서피스의 정확한 기능 분석을 제공합니다. 전용 프로세서는 동적 변형을 위해 독점적 광학 이미징 기술 토코렉트 (tocorrect) 를 사용하여 알고리즘을 구현하고 정확한 결과를 위한 통합 자동 교정을 구현합니다. 이 장치의 핵심에는 박막 (Thin Film) 과 능동장치 (Active Device) 의 특정 특성을 감지하고 측정하기 위해 실시간 광학 분석을 사용하는 고급 이미징 (Advanced Imaging) 기술이 있다. 기계는 타원계를 사용하여 웨이퍼 샘플의 반사율 (Reflectance) 과 투과율 (Transmittance) 을 동시에 측정하여 공구가 결함의 존재를 정확하게 식별하고 시트 저항 (Sheet Resistance), 필름 두께 (Film Thickness) 및 서피스 거칠기 (Surface roughness) 와 같은 물리적 매개변수를 측정합니다. 그런 다음, 프로세서가 데이터를 정확하게 분석 할 수있는 통합 USB 포트를 통해 처리 장치 (processing unit) 에 측정이 전송됩니다. 자산은 또한 자동 교정 (automated calibration) 기능을 제공하여 운영 환경에 관계없이 정확하고 일관된 결과를 보장합니다. 보정 모드 (calibration mode) 를 사용하면 사용자정의 매개변수를 설정하여 모델을 보정하여 유사한 환경에서 동일한 결과를 얻을 수 있습니다. 이 기능을 사용하면 실습을 통해 사용할 때마다 장비 보정 (calibrating) 및 재구성 (reconfigure) 에 소요되는 시간과 노력을 줄일 수 있습니다. KLA M-Gage 300 의 또 다른 인상적인 기능은 최신 기능과 기술을 활용하기 위해 쉽게 업그레이드 할 수있는 기능입니다. 이 시스템에는 내장형 펌웨어가 내장되어 있어 최신 버전의 소프트웨어로 시스템을 쉽게 업그레이드할 수 있습니다 (영문). 전반적으로, TENCOR M-Gage 300 장치는 사용자에게 박막 (thin film) 과 장치의 고급 분석에서 전례없는 정확성과 정확성을 제공하는 귀중한 도구입니다. 통합된 자동 보정을 통해 고성능 측정 (measurements) 및 분석 (analysis) 기능을 제공하여 사용자가 유사한 환경에서 일관된 결과를 얻을 수 있도록 지원합니다. 또한 이 시스템은 쉽게 업그레이드할 수 있습니다. 즉, 사용자는 최신 기능과 기술을 활용할 수 있습니다.
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