판매용 중고 KLA / TENCOR M-Gage 200 #293749861
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KLA/TENCOR M-Gage 200 (모델 200) 은 마이크로 프로세서, 평면 패널 디스플레이 및 고급 메모리 장치 기술에 대한 웨이퍼를 처리 및 측정하는 자동 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 200 모델은 생산 및 제품 검증 요구 사항을 지원하도록 설계된 포괄적인 테스트 제품군을 제공합니다. "실리콘 '과" 폴리이마이드' 필름 으로 만든 것 과 산화물, 질화물, 유전체 및 "폴리실리콘 '과 같은 고급 물질 을 포함 하여 다양 한" 웨이퍼' 를 시험 할 수 있다. 이 시스템은 또한 CMP (Advanced Chemical-Mechanical Planarization) 프로세스를 포함한 모든 일반적으로 사용되는 평면 화 재료 및 절차에 대한 자동 표면/필름 평가를 지원합니다. KLA M-Gage 200 Model은 완벽한 웨이퍼 매핑을 제공하며, HD 컬러 그래픽 사용자 인터페이스를 사용하여 완벽한 실시간 품질 정보를 표시합니다. 이 장치는 다방향 프로브 (multirectional probing) 를 사용하여 전체 표면적을 정확하게 커버하고, 웨이퍼 표면을 각 개별 그래픽 맵의 원조로 조회 및 검사 할 수 있습니다. 그런 다음 제조업체의 사양과 확립 된 "정상 작동이 확인된" 그래픽 맵과 비교할 수 있습니다. 또한 TENCOR M-Gage 200 기계는 파라 메트릭 분석, 직접 웨이퍼 비닝 및 MDA (Metrology Data Aggregation) 와 같은 고급 측정 도구를 제공하여 시간이 지남에 따라 중요한 재료/프로세스 매개변수를 식별, 상관 관계 및 추적합니다. 또한 강력한 HD 이미징 (HDI) 및 광도 이미지 처리 기능으로 고해상도 검사 및 웨이퍼 표면 검토에 이상적입니다. 이 툴의 데이터는 안전하게 저장되며, 프로세스 관리 및 프로세스 관련 정보의 추적성 (Traceability) 을 유지하기 위해 보호됩니다. 이를 통해 생산량 및 제품 성능을 보장할 수 있습니다. 이 자산에는 엔지니어가 웨이퍼 테스트 및 관련 분석을 사용자 정의하고, 테이블 매개변수를 사용자 정의하고, 레시피를 정의하고, 변경된 요구 사항을 충족하도록 새로운 테스트 작업을 프로그래밍할 수있는 고급 프로그래밍 기능이 있습니다. 전반적으로 M-Gage 200 (모델 200) 은 생산 및 제품 검증 요구 사항을 지원하도록 설계된 포괄적인 테스트 제품군을 제공합니다. 이 제품은 다양한 소재와 연동하며, 정확한 실시간 결과를 제공하고, 강력한 이미지 처리 기능을 제공하며, 프로세스 제어와 추적 능력을 유지하기 위해 매우 안전합니다. KLA/TENCOR M-Gage 200 모델은 기술 발전을위한 필수 도구가 될 것을 약속합니다.
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