판매용 중고 KLA / TENCOR M-Gage 200 #293744536

KLA/TENCOR M-Gage 200은 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비로, 반도체 장치 제작의 모든 단계에서 프로세스 분석 및 결함 검사를 위한 고급 기능을 제조업체에 제공합니다. 이 시스템은 향상된 자동 열 웨이퍼 테스트 장치를 통해 사용자가 전기, 광학 및 STI (semiconductor topography interconnect) 성능과 같은 wafer 특성을 빠르고 정확하게 측정 할 수 있습니다. 고급 고온 이미징 (HTI) 기술을 활용하여 KLA M-Gage 200은 웨이퍼의 결함 밀도를 정밀 테스트하여 잠재적 수율 문제를 식별합니다. 이 시스템에는 프로세스 모니터링, 추세 분석, 분석, 보고 등을 위한 포괄적인 데이터 로깅 기능과 더불어 수익률 크리티컬한 결함의 자동 식별 (automated identification) 및 등급 지정 (grading) 기능이 포함되어 있습니다. TENCOR M-Gage 200에는 정교한 알고리즘을 사용하여 웨이퍼 토폴로지를 분석하는 스마트 도량형 도구도 포함되어 있습니다. 이렇게 하면 웨이퍼 (wafer) 표면의 패턴 이상을 감지하고 식별할 수 있으며, 잠재적인 프로세스 문제를 신속하게 파악하고 적절한 해결 (corrective) 작업을 결정할 수 있습니다. 또한 이 도구를 사용하면 웨이퍼 기울기와 커브를 2차원 및 3차원 그래픽으로 시각화할 수 있습니다. 또한 M-Gage 200 은 다이 레벨 결함을 자동으로 표시하여 생산량을 관리하는 데 도움이 되는 Critical Image Analyzer 를 포함하여 여러 가지 자동 결함 표시 및 카운팅 툴을 제공합니다. 에셋에는 마이크로 렌치, 트렌치, 서기관, 범프, 라인 및 기타 기능을 식별하고 특성화하기위한 고급 기능 검증 모델도 포함되어 있습니다. KLA/TENCOR M-Gage 200에는 포괄적인 프로세스 제어 솔루션도 포함되어 있습니다. 이 프로세스 제어 요소에는 사전 구성된 런타임 프로파일 (Run-time Profile), 자동화된 전기/광 측정 (Electrical/Optical Measurement), 호스트 또는 공장 자동화 시스템의 원격 제어 및 트리거용 여러 도구가 포함됩니다. 이 장비의 포괄적인 고급 데이터 분석 솔루션에는 수율 개선 기회 및 통계 제어 프로세스를 파악하는 자동화된 공차 분석 (automated tolerance analysis) 기능과 심층 통계적 프로세스 제어를 위한 KLA 유행 YieldSTAT 패키지가 포함됩니다. KLA M-Gage 200은 또한 TENCOR MAPS 및 IMS 소프트웨어 제품군을 포함하여 호스트 환경의 다른 구성 요소와 상호 작용할 수 있습니다. 따라서 시스템 간에 데이터를 공유하여 수익률과 효율성을 모두 향상시킬 수 있습니다. TENCOR M-Gage 200 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템은 제조업체에 생산 프로세스를 최적화하고 결론을 개선하도록 설계된 고급 기능과 기능을 제공합니다. 웨이퍼 (wafer) 특성을 빠르게 분석하고 그렇지 않으면 눈에 띄지 않는 수익률 (yield-critical) 결함을 식별 할 수 있습니다. 프로세스 제어 솔루션과 함께 마킹, 카운팅, 기능 검증 (feature verification) 을 위한 자동화된 툴을 통해, 제조업체가 공정 폐기물을 최소화하면서 고품질 수율을 달성할 수 있습니다.