판매용 중고 KLA / TENCOR M-GAGE 200/300 #293652075

KLA M-GAGE 200/300은 50nm 이하의 공정을 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 최첨단, 광학 검사 플랫폼, 혁신적인 실리콘 검증, 수직 스캐닝 기술이 특징입니다. 이 시스템에는 200mm 또는 300mm 자동 로드 스테이션 (auto-load station) 과 함께, 빠르고 효율적인 결과를 제공하는 고급 자동 정렬 기능이 장착되어 있습니다. 이 장치에 사용되는 독점 센서는 사용자에게 고해상도 데이터 캡처 기능을 제공합니다. 고급 옵틱 및 고감도 센서는 잘못된 양의 결과 없이 최소 결함 감지를 보장합니다. 또한, 멀티 상관 관계 기술 (multi-correlator technology) 은 웨이퍼 표면에 대한 비교할 수없는 보기 및 수량화 가능한 평가를 제공합니다. M-GAGE는 랜덤, 라인 엣지 거칠기 및 널리 분산된 입자와 같은 최첨단 결함을 식별 할 수 있습니다. 이 기계는 시간당 최대 200 개의 웨이퍼를 수용 할 수있는 높은 처리량을 가지며, 테스트 정렬을 빠르게 정렬하기 위해 널리 사용되는 Align-Check (정렬 검사) 기술을 포함합니다. 이 툴은 모듈식으로 설계되었으며 고객의 요구에 따라 맞춤식 (customizable) 구성을 제공합니다. 프로세스 최적화, 초점 평면 감지, 결함 분석, 에지 응답 분석 등 다양한 테스트 및 도량형 (metrology) 작업을 수행할 수 있습니다. 통합된 QualWafer 소프트웨어는 모든 디바이스 및 자산 매개변수를 관리하므로 간단한 사용자 인터페이스 (user interface) 를 생성하여 신속하게 테스트를 실행할 수 있습니다. 또한, 소프트웨어는 추적성과 배치 제어를 허용하기 위해 엄격한 감사 추적을 유지합니다. 강력한 TENCOR M-GAGE 200/300 모델은 안정적이고, 정확하며, 효율적인 웨이퍼 테스트 및 도량형 결과를 찾는 반도체 제조업체에 적합합니다. 사용자에게 친숙한 설계, 고성능 옵틱, 고급 다중 상관 관계 기술 등을 갖춘 M-GAGE 장비는 탁월한 데이터 무결성과 생산성을 제공합니다.