판매용 중고 KLA / TENCOR LMS IPRO5 #9163708

KLA/TENCOR LMS IPRO5는 제조 생산성 및 공정 균일성을 향상시키는 고성능 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 고도 (high-accuracy) 측정과 신뢰성 있는 운영이 특징이며, 반도체 업계의 기업에 이상적입니다. 이 시스템에는 강력한 소프트웨어 플랫폼이 있어 데이터 자동 테스트 (test-data) 분석 및 고급 프로세스 제어가 가능합니다. 이 장치는 특정 웨이퍼의 특성을 정확하게 측정하기 위해 함께 작동하는 여러 컴포넌트 (component) 로 구성됩니다. 광 모듈은 각 웨이퍼의 임계 치수를 자동으로 측정합니다. 캐리지 모듈은 적절한 공구를 wafer undertest에 전달합니다. 이 기계의 칩셋은 여러 개의 정교한 칩으로 구성되어 있으며, 이 칩은 논리, 모터 제어 (motor control) 및 도구를 제어하는 데 필요한 디지털 신호를 제공합니다. 이 도구의 통합 도량형 기능은 수동 프로그래밍이 필요 없이 IQ, OQ, PQ 메트릭과 같은 다양한 테스트 데이터를 수집하고 분석합니다. 또한 반사율 (specular surface reflectance) 이 특징으로 측정의 정확성과 감도를 향상시킵니다. 또한 자동 초점 (Auto-Focus) 기능을 통해 수작업 개입의 필요성을 줄이고 프로세스 안정성을 향상시킬 수 있습니다. 이 자산에는 사용하기 쉽고 직관적인 소프트웨어 사용자 인터페이스도 있습니다. 이를 통해 연산자는 테스트 매개변수를 쉽게 설정하고, 측정 모델을 조정하고, 데이터를 분석할 수 있습니다. 이 직관적 인 사용자 경험을 통해, 가장 경험이 부족한 운영자조차도 신속하게 장비를 빠르게 사용할 수 있습니다. KLA LMS IPRO5 는 현대 반도체 업계의 요구를 충족할 수 있는 유연성과 확장성을 제공하도록 설계되었습니다. 광범위한 프로세스 기능과 고급 도량형 솔루션을 제공합니다. 이 시스템은 또한 신뢰성이 높고 유지 보수가 쉽습니다. 또한 모듈 식 디자인은 업그레이드를 허용합니다. 이러한 모든 기능을 통해 제조 생산성 향상과 프로세스 균일성 향상을 위한 완벽한 웨이퍼 테스트 (wafer testing) 및 도량형 장치 (metrology unit) 가 됩니다.