판매용 중고 KLA / TENCOR / INSPEX Eagle #293616824

KLA / TENCOR / INSPEX Eagle
ID: 293616824
Patterned wafer inspection systems.
KLA/TENCOR/INSPEX Eagle은 반도체 장치의 전기, 물리적, 광학적 특성을 측정하기 위해 설계된 종합적인 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 클라이 이글 (KLA Eagle) 은 고급 분석 기능을 통해 웨이퍼의 2D 및 3D 이미지를 모두 처리 할 수있는 모듈식 및 확장 가능한 플랫폼입니다. 이 시스템에는 wafer 매핑 모듈이 내장되어 있어, 사용자가 관심 있는 기능을 빠르고 정확하게 찾을 수 있습니다. 또한, TENCOR Eagle은 미세 구조 패턴의 불규칙성을 감지하고 분석하고 극도의 균일성 문제를 감지 할 수있는 통합 검사 도구를 자랑합니다. 이글 (Eagle) 은 스펙트럼 분석 및 3D 이미징 이미지를 모두 제공하는 다양한 강력한 이미징 기술을 갖추고 있습니다. 반사 및 전송 된 광 데이터에 대해 단일 파장 이미징, 자외선 이미징, 이중 파장 이미징 (dual-wavelength imaging) 을 수행할 수 있으며 단일 패키지에서 최대 성능을 제공합니다. INSPEX Eagle은 자동 초점 및 반자동 웨이퍼 처리 소프트웨어와 하드웨어를 결합하여 EPF (Dynamic Extreme Proximity Focus) 및 드라이브 인 플랫폼 (Drive-In Platform) 기능과 함께 측정이 정확하게 완료되도록 합니다. 이를 통해 고급 데이터 캡처, 유연한 이미징 및 이미지 분석 기능이 보장됩니다. 또한 KLA/TENCOR/INSPEX Eagle은 이미징 및 도량형 광학 렌즈 및 필터를 통합하여 재구성 없이 단일 플랫폼에서 도량형 및 이미징을 허용하는 최첨단 광학 디자인을 구현합니다. 또한 KLA 이글 (CLA Eagle) 은 사용자 정의가 가능하도록 설계되어 있어 가장 정확한 결과를 결정하기 위해 장치의 다양한 기능 설정 (예: 스팟 크기, 자동 초점 설정) 을 수정할 수 있습니다. 또한 TENCOR Eagle은 예측 유지 관리 분석 및 소프트웨어 제어 웨이퍼 로딩 및 언로드를 제공합니다. 전반적으로 이글 (Eagle) 은 반도체 산업 내에서 광범위한 이미징, 테스트 및 도량형 애플리케이션에 적합한 강력하고 다양한 기계입니다. 고급 옵티컬 디자인, 자동 포커싱, 웨이퍼 처리, 스펙트럼 이미징 및 분석 기능을 갖춘 INSPEX Eagle (INSPEX Eagle) 은 가장 까다로운 어플리케이션에 대해 매우 자동화되고 정확한 측정 성능을 제공합니다.
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