판매용 중고 KLA / TENCOR / ICOS T830I #9378053

KLA/TENCOR/ICOS T830I는 반도체 장치 테스트에서 업계 표준을 충족하도록 설계된 아트 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비의 상태입니다. 특허를 받은 블루 레이저 검사 시스템 (Blue Laser Inspection System) 을 탑재해 서브미크론 이미징 (Sub-micron Imaging) 을 사용하여 웨이퍼를 검사, 검사하여 웨이퍼 재료에 존재하는 결함을 감지한다. 적외선 (IR) 과 다중 스펙트럼 이미징 (multispectral imaging) 을 결합하여, 이 장치는 테스트 객체의 광학 및 전자 광학 기능을 모두 감지하여 사용자에게 포괄적 인 웨이퍼 분석 솔루션을 제공 할 수 있습니다. KLA T830I는 대용량 생산을 위해 설계되었으며, 빠른 배치 시간 및 자동 테스트 프로세스를 제공합니다. 또한 업그레이드 가능한 펌웨어를 통해 KLA 라인업의 다른 시스템과의 호환성을 보장합니다. 전용 소프트웨어 패키지를 통해 ICOS T830I는 foot-print, CD uniformity, dopant concentration, overlay 및 pattern defects와 같은 다양한 웨이퍼 문제를 감지하고 분석할 수 있습니다. 또한, 이 기계는 고급 결함 감지 (advanced defect detect) 및 분류 기능을 제공하여 장치 제조업체가 웨이퍼 재료의 결함, 오류 또는 오염 물질을 더 잘 이해하고 근절 할 수 있습니다. 또한 에치 (etch) 프로파일링 기능을 제공하여 사용자가 웨이퍼의 두께와 밀도를 검사하고 결정할 수 있습니다. 또한, 이 툴은 사용자 프로세스 특성화를위한 플랫폼을 제공하여 디바이스 기능 및 제조 프로세스 (Manufacturing Process) 를 심층적으로 분석할 수 있습니다. 자산 운영 및 유지 관리를 단순화하기 위해 장치에는 인체 공학적 GUI (Graphical User Interface) 가 제공됩니다. 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 는 다양한 제어 및 시각 형상 도구를 제공하여 전반적인 모델 워크플로를 개선하고 품질 관리 프로세스를 개선합니다. 레벨 1 (Level 1) 및 2 (2) 장비 활동은 시스템의 터치 스크린을 통해 처리 할 수 있으며, 레벨 3 (Level 3) 장치 기능은 시스템의 워크스테이션 구성 요소를 통해 작동 할 수 있습니다. T830I 는 생산 수율을 높이고 비용을 절감하려는 반도체 (반도체) 장치 제조업체에 이상적인 솔루션입니다. 강력한 웨이퍼 테스트 (Wafer Testing) 및 도량형 (Metrology) 기능을 조합하면 빠르고 일관성 있고 신뢰할 수 있는 결과를 필요로 하는 사용자에게 매우 적합합니다.