판매용 중고 KLA / TENCOR / ICOS T830 #9376001

KLA/TENCOR/ICOS T830은 웨이퍼 생산의 전반적인 효율성과 정확성을 향상시키기 위해 설계된 혁신적인 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 특허 출원 중인 도량형 (metrology) 및 테스트 기술을 활용하여 정확하고 안정적인 결과를 얻어 최고 수준의 품질과 균일성을 보장합니다. 이 장치는 여러 구성 요소로 구성되며, 이 구성 요소는 모두 함께 작동하여 주어진 웨이퍼 (wafer) 의 상태에 대한 포괄적이고 정확한 뷰 (view) 를 제공합니다. 이러한 구성 요소에는 샘플 스테이지, 포지셔너, 동작 제어 모듈, 다양한 센서, 그리고 실시간 분석 및 수정이 가능한 정교한 소프트웨어 패키지가 포함됩니다. KLA T830의 샘플 단계는 모든 테스트 및 측정을위한 기본 플랫폼입니다. 정밀 동작 제어 (Precision Motion Control) 기술을 통해 자동화된 중심 처리 및 점 위상을 통해 정확하고 반복 가능한 웨이퍼 포지셔닝 및 경량 패턴 스캐닝 작업을 수행할 수 있습니다. 따라서 지정된 위치에 있는 데이터를 일관되게 샘플링하고, 개별 결함을 구분할 수 있습니다 (영문). 이 스테이지에는 카메라, 레이저 간섭계, 분광계 등 다양한 광학 센서가 장착되어 있습니다. 이러한 센서는 고급 이미징 (advanced imaging) 기능을 통해 각기 다른 재료의 속성을 상세한 시각화 및 특성화할 수 있습니다. 포지셔너는 자동 웨이퍼 조작을 가능하게합니다. 컴퓨터 프로그래밍 명령을 통해 웨이퍼의 정확하고 반복 가능한 이동을 가능하게하는 여러 모터, 컨트롤러, 인코더 및 앰프로 구성됩니다. 따라서 수동 작업 (manual operation) 이 필요 없게 되어 샘플 처리량이 향상되고, 더 짧은 시간 내에 수많은 샘플을 검사할 수 있습니다. ICOS T830의 모션 제어 모듈은 포지셔너의 움직임을 모니터링하고 실행할 책임이 있습니다. 특수 프로세서, 구동 논리 및 디지털 신호 프로세서로 구성됩니다. 이 모듈은 웨이퍼 (wafer) 의 움직임을 정확하게 제어할 수 있으므로 모든 측정과 테스트 (test) 가 정시적으로 수행됩니다. 소프트웨어 패키지는 시스템의 의사 결정 구성 요소입니다. 직관적인 GUI (Graphical User Interface) 와 다양한 강력한 분석 툴을 통해 웨이퍼에 나타나는 모든 결함을 실시간으로 분석, 수정할 수 있습니다. 이를 통해 사용자는 운영 프로세스에 대한 정보를 파악하고, 필요한 경우 신속하게 조정하고 최적화할 수 있습니다. 또한, 이 소프트웨어는 다른 공통 데이터 분석 플랫폼과 원활하게 통합되어 다른 시스템 간에 결과와 데이터를 자동으로 교환할 수 있습니다 (영문). 요약하면, TENCOR T830은 혁신적인 웨이퍼 테스트 및 도량형 도구로서, 생산 과정에서 높은 수준의 정확성과 반복성을 보장합니다. 정확한 모션 제어 기능, 정교한 이미징 기능, 포괄적인 소프트웨어 패키지 (Software Package) 를 통해 사용자는 웨이퍼에 나타나는 모든 결함을 신속하게 감지하고 해결할 수 있습니다. 이는 제품의 품질과 균일성을 높이고, 운영의 전반적인 효율성을 높입니다 (영문).