판매용 중고 KLA / TENCOR HRP 340 #9241936
URL이 복사되었습니다!
확대하려면 누르십시오
ID: 9241936
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2006
Profiler, 12"
Process: Metro
Operating system: Windows
SMIF / FOUP
2006 vintage.
KLA/TENCOR HRP 340은 높은 처리량과 정밀도에 최적화된 차세대 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 고급 이미징 알고리즘 (Advanced Imaging Algorithm) 을 사용하여 웨이퍼의 피쳐 크기와 오버레이 배치를 정확하게 측정하고 분석합니다. 이 장치는 또한 표면/결함 분석 (surface/defect analysis) 기능을 제공하여 운영 프로세스가 최적의 수율에 맞게 최적화되도록 합니다. KLA HRP 340 기계는 민감한 레이저 광학 부품을 사용하여 최대 3 나노 미터의 반복 가능성으로 서브 미크론 해상도를 달성합니다. 이 도구에는 고급 동작 제어 (Advanced Motion Control) 가 있는 기계적 단계 (Mechanical Stage) 가 있어 테스트 프로세스 동안 정확한 위치 정밀도를 보장합니다. 이것은 단일 세션에서 대량의 웨이퍼 (wafer) 를 자동으로 스캐닝하고 테스트할 수 있도록 하는 대규모 시야 (field-of-view) 와 결합됩니다. 이 자산에는 빠르고 자동화된 분석/보고를 위해 설계된 강력한 소프트웨어 (Software Suite) 가 장착되어 있습니다. 이 소프트웨어에는 다양한 테스트 구성 및 측정을 자동화할 수 있는 강력한 스크립팅 엔진이 포함되어 있습니다 (영문). 이렇게 하면 개별 샘플의 설정 시간이 크게 단축되어 단일 세션에서 수백 개의 웨이퍼 (wafer) 를 측정할 수 있습니다. 또한, 이 소프트웨어는 프로세스 편차를 감지하고 그에 따라 운영 워크플로를 최적화할 수있는 정교한 분석 알고리즘을 제공합니다. TENCOR HRP 340 장비는 데이터 분석 기능 외에도 데이터 저장 및 전송을 지원합니다. 즉, 데이터를 로컬/원격으로 안전하게 전송하여 테스트 결과를 거의 실시간으로 업데이트할 수 있습니다. 즉, 테스트 데이터를 사용자가 액세스하여 추가 분석 및 해석이 가능하도록 합니다. 이 시스템은 PC 및 웹 기반 클라이언트를 포함한 다양한 장치에 대한 연결을 지원합니다. HRP 340은 안정적인 고성능 웨이퍼 테스트 및 도량형을 제공하도록 설계되었습니다. 이 장치는 고급 이미징 머신 (advanced imaging machine) 과 강력한 분석 알고리즘 및 효율적인 자동화 도구를 결합하여 정확한 테스트를 보장합니다. 사용자 친화적 소프트웨어는 테스트 데이터를 손쉽게 설치, 보고할 수 있도록 설계되었습니다. 이 도구는 저렴한 비용으로 높은 처리량과 정밀도를 필요로 하는 어플리케이션에 적합합니다.
아직 리뷰가 없습니다