판매용 중고 KLA / TENCOR HRP 340 #293797163
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KLA/TENCOR HRP 340은 반도체 제조 공정에 광범위하게 사용되는 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템입니다. 그것 은 "웨이퍼 '를 빠르고 정확 하게 분석 하여" 나노미터' 계 의 물리적 특성 을 분석 할 수 있다. KLA HRP 340은 두께, 평평, 크기, 표면 거칠기, 거칠기, 질감, 다공성 및 입자 크기 분포와 같이 맨손과 완전히 포장 된 웨이퍼에서 다양한 매개변수를 측정 할 수 있습니다. TENCOR HRP 340은 도량형 하위 시스템, 이미징 하위 시스템, 분석 소프트웨어 및 웨이퍼 처리 하위 시스템의 4 가지 주요 하위 시스템으로 구성됩니다. 도량형 하위 시스템에는 고해상도 측정에 사용되는 레이저, 광원 (light source) 및 검출기 (detector) 가 포함되며, 이미징 하위 시스템은 추가 분석을 위해 웨이퍼의 전체 웨이퍼 또는 로컬 영역을 캡처하는 등 더 큰 규모의 이미징에 사용됩니다. 분석 (analysis) 소프트웨어는 이미징 및 도량형 서브시스템에 의해 수집 된 데이터에 대한 실제 수치 분석을 수행합니다. 즉, 즉각적인 평가와 장기적 평가를 모두 제공하므로 Wafer 에 대한 자세한 정보를 실시간으로 확인할 수 있습니다. 또한, 자동화된 웨이퍼 처리 하위 시스템을 통해 최대 25 개의 웨이퍼를 스태킹, 언로드 및 정렬하여 분석 프로세스를 크게 간소화할 수 있습니다. 전반적으로, HRP 340 (HRP 340) 은 인상적인 기능 세트를 자랑하며, 웨이퍼 분석을위한 종종 선택된 시스템입니다. 신속 하고 정밀 한 측정 은 "나노미터 '척도 로 작동 하여" 웨이퍼' 의 물리적 특성 에 관한 상세 한 정보 를 제공 하고, 자동화 된 "웨이퍼 '처리" 시스템' 은 분석 에 필요 한 노동 과 시간 을 감소 시킨다. 안전 장치 (Safety System) 는 추가 보호 계층으로서 잠재적 인 위험으로부터 운영자와 웨이퍼를 보호합니다. 전체적으로 KLA/TENCOR HRP 340은 반도체 산업의 웨이퍼 분석을위한 훌륭한 선택입니다.
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