판매용 중고 KLA / TENCOR HRP 340 #293768924
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KLA/TENCOR HRP 340 (KLA/TENCOR HRP 340) 은 결함 검사 및 기타 관련 프로세스를 위해 사용자가 가장 정확한 성능 결과를 신속하게 얻을 수 있도록 설계된 차세대 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 최고의 감사 기능과 반복 가능한 결과를 위해 설계된 고급 하드웨어/소프트웨어 기술을 통합했습니다. KLA HRP 340의 핵심 구성 요소에는 자동 웨이퍼 처리 장치 및 고급 결함 검사 기능이 포함됩니다. 자동화된 머신 (automated machine) 을 사용하면 저가형, 저가형 (low-maintenance) 솔루션을 유지하면서 다양한 wafer 기판 및 크기를 빠르고 정확하게 검사할 수 있습니다. 이 도구는 카메라, 레이저 및 기타 모션 센서 (motion sensor) 배열을 사용하여 와퍼에서 데이터를 즉석에서 수집하여 정확하고 반복 가능한 결과를 얻을 수 있습니다. 자동 자산과 함께 TENCOR HRP 340에는 고급 결함 검사 기능도 포함되어 있습니다. 고해상도 이미징 기술을 활용한 와퍼 (wafer) 의 다양한 결함을 빠르고 정확하게 감지할 수 있습니다. 가장 작은 나노 미터 (nanometer) 해상도까지 광범위한 표면 및 서브 표면 결함을 감지 할 수 있습니다. 고급 알고리즘은 패턴 기반 검사 (pattern-based inspection) 및 결함 진단을 위해 사용되며, 이는 웨이퍼의 결함을 찾아서 분리하는 데 소요되는 시간과 비용을 크게 줄입니다. HRP 340에는 고급 도량형 기능도 포함되어 있습니다. 여기에는 웨이퍼의 높이를 측정하기 위한 3D 스캔과 단계 높이 (Step Height) 가 포함됩니다. 또한 웨이퍼의 광학 특성을 정확하게 측정하기위한 분광계가 포함되어 있습니다. 이를 통해 사용자는 웨이퍼 재료의 오염 물질과 변형을 빠르고 정확하게 확인할 수 있습니다. 결론적으로 KLA/TENCOR HRP 340은 강력하고 포괄적 인 웨이퍼 테스트 및 도량형 모델입니다. 고급 하드웨어 (advanced hardware), 소프트웨어 (software) 및 도량형 (metrology) 기능의 조합을 활용하여 사용자는 광범위한 웨이퍼를 통해 소중한 성능 결과를 빠르고 정확하게 얻을 수 있습니다. 이 장비는 사용하기 쉽고, 최소한의 유지 보수가 필요하므로 웨이퍼 테스트 (wafer testing) 와 관련된 모든 어플리케이션에 적합합니다.
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