판매용 중고 KLA / TENCOR HRP 340 #293656412

KLA/TENCOR HRP 340은 반도체 장치 제조에 대한 종합적인 품질 제어를 제공하기 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 정밀 결함 검사 및 미세 크기의 구조를 측정 할 수있는 주사 전자 현미경 (SEM) 입니다. 이 시스템은 300mm (mm) 웨이퍼에서 자동화된 고속 웨이퍼 테스트에 최적화되어 있으며, 처리 속도를 높이고 최고의 정확도를 제공하는 다양한 기능을 제공합니다. KLA HRP 340은 모듈식 아키텍처를 기반으로 구축되어 최대 3 개의 동시 측정 및 검사 작업을 수행할 수 있습니다. 단일 액세스 구성을 갖춘 300mm 유닛으로, 고속 웨이퍼 스캐닝에 최적화되어 있습니다. 이 기계에는 6 인치 드리프트 개선 성능 (DIP) 테이블과 플라즈마가없는 샘플 전송 도구가 포함되어 있습니다. TENCOR HRP 340에는 하부 나노 미터 해상도의 정밀 도량형 측정뿐만 아니라 고감도 이미징 (high-sensitivity imaging) 을 가능하게하는 고급 이미징 자산이 있습니다. 이 모델에는 여분의 밝은 세미 메탈 X- 선 소스 (semi-metal X-ray source) 와 상세한 이미징 및 긴 초점 깊이를 허용하는 고출력 자외선 레이저가 포함됩니다. 고감도 전자 영상 장비는 미세 결함을 정확하게 감지 할 수 있도록 설계되었으며, 장치 특성화를위한 3D 측정 기능도 제공합니다. HRP 340에는 고급 시스템 제어 및 데이터 획득 소프트웨어 패키지 (K-STAR) 도 포함되어 있습니다. K-STAR 에는 자동 장치 제어 기능, 측정/이미지 처리 자동화, 결함 분류 자동화 등이 포함되어 있습니다. 또한 수많은 업계 표준 프로토콜 (예: IEEE, EDA, SIPI, ATE 등) 을 지원하므로 KLA/TENCOR HRP 340을 기존 생산 프로세스에 쉽게 통합할 수 있습니다. KLA HRP 340은 최첨단 웨이퍼 테스트 및 도량형 머신으로, 고감도 결함 감지 및 밀도 측정을 위한 정확한 측정 및 이미징 기능을 제공합니다. 이 제품은 고급 이미징 도구, 자산 제어 소프트웨어 (Asset Control Software), 자동 결함 분류 (Automated Defect Classification) 기능을 제공하므로 반도체 장치 제작의 프로세스와 품질을 제어할 수 있는 강력한 도구입니다.