판매용 중고 KLA / TENCOR HRP 340 #293601223

KLA/TENCOR HRP 340은 높은 처리량, 높은 정확도 및 고해상도 측정을 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 다이 레벨, 웨이퍼 레벨, 서브 다이 레벨 측정에 대해 빠르고 안정적인 측정 결과를 제공하도록 최적화되었습니다. 이 시스템은 향상된 광학 장치 (optical unit), 고해상도 이미지 센서 (high-resolution image sensor) 및 전기 및 광학 매개변수를 모두 측정할 수있는 통합 소프트웨어 패키지를 갖추고 있습니다. 이 기계는 8 인치에서 300 밀리미터 기판을 처리 할 수 있으며, 빠른 교정 및 우수한 도량형 반복 기능을 제공합니다. KLA HRP 340은 정확하고 재현 가능한 측정을 위해 다수의 광, 전기 및 디지털 부품을 통합합니다. 광학 도구에는 고급 고해상도 카메라, 매우 민감한 CCD 카메라, 고해상도 이미지를 얻을 수있는 디지털 현미경이 포함됩니다. 자산에는 완전 자동화 된 충전기 방전기 (charger-discharger) 가 추가로 장착되어 있어 잦은 교정이 필요하지 않습니다. 이 모델에는 테스트를 위해 웨이퍼를 자동으로 정렬하고 배치하는 통합 단계 (integrated stage) 도 있습니다. 이 장비는 수동 (manual) 및 자동 (automatic) 테스트를 허용하며 웨이퍼 레벨 테스트 도구, 칩 레벨 및 모듈 레벨 테스트 도구, 데이터 기반 분석 소프트웨어 등 포괄적인 소프트웨어 제품군을 갖추고 있습니다. 이 소프트웨어를 사용하면 도펀트 프로파일링 (dopant profiling) 및 불순물 분석 (impurity analysis) 과 같은 전기 매개변수와 표면 거칠기 (surface roughness) 및 굴절률 (refractive index) 과 같은 광학 매개변수를 테스트할 수 있습니다. 데이터 기반 소프트웨어는 웨이퍼 레벨 매크로 및 마이크로 결함 검사를 제공 할 수도 있습니다. TENCOR HRP 340은 또한 높은 정확도 도량형 결과를 제공하기 위해 이중 측 도량형 시스템을 갖추고 있습니다. 이 장치에는 단일 픽셀 옵티컬 센서, 이중 채널 CCD 센서 및 레이저 위치 센서가 포함됩니다. 광학 센서는 서피스 거칠기, 그레인 크기, 서피스 텍스처, 선 너비의 정확한 측정을 제공합니다. 이중 채널 CCD 센서는 선 너비, 선폭 분산, 모서리 배치 오류, 오버레이 정밀도를 정확하게 측정합니다. 레이저 위치 센서는 하위 마이크로미터 측정의 정확한 해상도를 제공합니다. 전반적으로, HRP 340은 안정적이고 정확한 웨이퍼 레벨 측정을 제공하기 위해 설계된 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 기계입니다. 이 도구는 정확한 다이 (die) 및 서브 다이 (sub-die) 레벨 측정을 가능하게 하는 광학, 전기 및 디지털 컴포넌트의 조합을 특징으로합니다. 이 자산은 또한 다이 레벨, 웨이퍼 레벨 및 서브 다이 레벨 테스트를위한 강력한 소프트웨어와 높은 정확도 도량형 측정을위한 이중 측면 도량형 모델을 갖추고 있습니다. 이러한 기능을 통해 KLA/TENCOR HRP 340은 웨이퍼 테스트 및 도량형을위한 훌륭한 장비입니다.